Cible de séléniure de chrome (CrSe) Description
La cible de pulvérisation au séléniure de chrome (CrSe) est un composé céramique de haute performance qui combine la stabilité physique robuste du chrome avec les caractéristiques semi-conductrices du sélénium, ce qui le rend bien adapté au dépôt de couches minces. Fabriquée à l'aide de techniques avancées telles que le pressage à chaud ou le frittage sous vide, la cible présente généralement une densité élevée et une faible porosité, ce qui garantit des taux d'érosion uniformes et une qualité de film constante lors de la pulvérisation. Elle possède un point de fusion relativement élevé et une excellente stabilité thermique, ce qui lui permet de supporter des environnements de dépôt à haute puissance sans dégradation significative. Le matériau présente une bonne compatibilité chimique et conserve son intégrité structurelle dans les atmosphères inertes et réactives. Les cibles de CrSe présentent également un comportement électrique et une réactivité magnétique stables, avec une microstructure fine et homogène qui permet la formation d'un film lisse et sans défaut sur une large gamme de substrats.
Spécifications des cibles de séléniure de chrome (CrSe)
Propriétés
Matériau
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CrSe
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Pureté
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99.9%
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CAS
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12053-13-3
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Point de fusion
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1500 °C
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Densité
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6,74 g/cm3
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Forme
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Disque plan
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*Lesinformations ci-dessus sont basées sur des données théoriques. Pour des exigences spécifiques et des demandes détaillées, veuillez nous contacter.
Taille: Sur mesure
Applications de la cible de séléniure de chrome (CrSe)
- Lacible de séléniure de chrome (CrSe) est utilisée dans une variété d'applications avancées, en particulier dans les domaines des semi-conducteurs, de l'optoélectronique et des dispositifs magnéto-optiques. Il est utilisé dans les processus de dépôt de couches minces pour créer des couches pour les détecteurs infrarouges, les cellules photovoltaïques et les composants spintroniques. Ses propriétés semi-conductrices et magnétiques le rendent également précieux pour la recherche sur les matériaux bidimensionnels et l'électronique quantique. En outre, les films minces de CrSe sont étudiés pour être utilisés dans des dispositifs de stockage d'énergie et comme revêtements protecteurs ou fonctionnels dans des environnements difficiles.
Emballage des cibles de séléniure de chrome (CrSe)
Nos produits sont emballés dans des cartons personnalisés de différentes tailles en fonction des dimensions du matériau. Les petits articles sont solidement emballés dans des boîtes en PP, tandis que les articles plus volumineux sont placés dans des caisses en bois personnalisées. Nous veillons à respecter scrupuleusement la personnalisation de l'emballage et à utiliser des matériaux de rembourrage appropriés afin d'assurer une protection optimale pendant le transport.

Emballage : Carton, caisse en bois ou sur mesure.
Processus de fabrication
1. Bref déroulement du processus de fabrication

2. Méthode d'essai
- Analyse de la composition chimique - vérifiée à l'aide de techniques telles que GDMS ou XRF pour garantir la conformité aux exigences de pureté.
- Essai des propriétés mécaniques - comprend des essais de résistance à la traction, de limite d'élasticité et d'allongement afin d'évaluer les performances du matériau.
- Inspection dimensionnelle - Mesure de l'épaisseur, de la largeur et de la longueur pour s'assurer du respect des tolérances spécifiées.
- Inspection de la qualité de la surface - Recherche de défauts tels que des rayures, des fissures ou des inclusions par un examen visuel et par ultrasons.
- Essai de dureté - Détermine la dureté du matériau pour confirmer l'uniformité et la fiabilité mécanique.
Cible en séléniure de chrome (CrSe) FAQs
Q1 : Quels sont les facteurs qui influencent la durée de vie d'une cible de séléniure de chrome (CrSe) ?
R1 : La durée de vie d'une cible dépend de facteurs tels que la puissance de pulvérisation, l'environnement de dépôt, l'épaisseur de la cible et l'efficacité du refroidissement. Un étalonnage correct du système et une distribution uniforme de la puissance contribuent à prolonger la durée de vie.
Q2 : Comment puis-je garantir une épaisseur de film uniforme lorsque j'utilise une cible CrSe ?
R2 : L'épaisseur uniforme du film dépend de paramètres tels que la qualité de la cible (densité, homogénéité), la rotation du substrat, la distance de travail et la pression de pulvérisation. Les cibles à haute densité comme le CrSe de SAM offrent une meilleure uniformité d'érosion.
Q3 : Quelles sont les options de collage disponibles pour le montage des cibles de CrSe ?
R3 : Les cibles de CrSe peuvent être collées avec de l'indium, de l'élastomère ou des adhésifs haute température en fonction du type de système et des exigences thermiques. SAM propose des services de collage en fonction de votre plaque de support et de la compatibilité du système.
Tableau de comparaison des performances avec les produits concurrents
Cible de séléniure de chrome (CrSe) par rapport aux matériaux concurrents : Comparaison des performances
Propriété
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Cible CrSe
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Cible MoSe₂
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Cible WSi₂
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Cible CrN
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Cible Ta
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Pureté
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≥99.95% (base métallique)
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≥99.9%
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≥99,5% (dérive du rapport Si/W)
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≥99.8%
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≥99,99% (Ta de haute pureté)
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Densité
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6,2-6,5 g/cm³ (théorique ~95%)
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5,0-5,2 g/cm³ (~90%)
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9,3-9,6 g/cm³ (~92%)
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6,1-6,3 g/cm³ (~94%)
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16,6 g/cm³ (~99%)
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Taille des grains
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≤10 μm (contrôlée par HIP)
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15-30 μm (induite par CVD)
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20-50 μm (métallurgie des poudres)
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≤5 μm (nanocristallin)
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≤50 μm (lingot de haute pureté)
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Vitesse de pulvérisation
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150-200 nm/min (DC, 500W)
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80-120 nm/min (RF, 300W)
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100-150 nm/min (CC, 400W)
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200-250 nm/min (DC, 600W)
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50-80 nm/min (haute puissance)
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Adhésion au substrat
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Forte (SiO₂/Si, Ra <0,5 nm)
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Modérée (risque de délamination)
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Modérée (fissuration sous contrainte)
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Excellente (revêtements durs)
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Médiocre (nécessite une couche intermédiaire)
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Tendance à l'arc électrique
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Faible (microstructure dense)
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Élevée (défauts en couches)
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Modérée (porosité)
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Très faible (haute densité)
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Modérée (formation d'oxyde)
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Conductivité thermique
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20-25 W/m-K (dissipation de la chaleur)
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10-15 W/m-K
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30-35 W/m-K
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15-20 W/m-K
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57 W/m-K (Ta métal)
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Informations connexes
- Matières premières - Chrome (Cr)
Le chrome est un métal de transition dur, brillant et résistant à la corrosion, connu pour son point de fusion élevé (1907°C), son excellente dureté et sa capacité à former des couches d'oxyde protectrices stables. Il améliore la résistance à l'usure et à l'oxydation des cibles de pulvérisation en alliage et en composé, ce qui le rend idéal pour les applications à haute température et dans les environnements difficiles.
- Matières premières - Sélénium (Se)
Le sélénium est un élément non métallique doté de propriétés semi-conductrices et de photoconductivité, largement appréciées dans les matériaux électroniques et photovoltaïques en couches minces. Il forme des composés stables avec les métaux et contribue à un contrôle précis de la bande interdite et de la réactivité chimique dans les processus de pulvérisation.
Spécifications
Propriétés
Matériau
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CrSe
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Pureté
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99.9%
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CAS
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12053-13-3
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Point de fusion
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1500 °C
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Densité
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6,74 g/cm3
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Forme
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Disque plan
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*Lesinformations ci-dessus sont basées sur des données théoriques. Pour des exigences spécifiques et des demandes détaillées, veuillez nous contacter.
Taille: Sur mesure