ST0209 Cible de pulvérisation de nitrure de bore (BN)

Cible de pulvérisation au nitrure de bore (BN) Description

Notre cible de pulvérisation en nitrure de bore (BN) est produite par frittage sous presse à chaud suivi d'un usinage de précision pour obtenir une densité élevée (>1,9 g/cm³) et une structure de grain fine et uniforme. Cette approche de fabrication est essentielle pour le BN en raison de sa structure cristalline hexagonale anisotrope ; une densification appropriée et un contrôle de l'orientation des grains minimisent la génération de particules pendant la pulvérisation et garantissent une érosion uniforme sur toute la surface de la cible.

Le nitrure de bore offre une combinaison distinctive de propriétés - une conductivité thermique élevée (~30 W/m-K), une excellente isolation électrique et une stabilité thermique exceptionnelle (sublimation à ~2 973°C) - qui en font un matériau de choix pour les applications exigeantes de couches minces. Chaque cible BN est adaptée aux systèmes de pulvérisation RF et RF-Réactive, offrant des propriétés de film reproductibles pour les couches isolantes, les couches tampons et les revêtements protecteurs.

Toutes les cibles sont nettoyées et scellées sous vide avant expédition afin d'éviter toute contamination et de préserver l'intégrité de la surface.

Spécification des cibles de pulvérisation de nitrure de bore (BN)

Remarque : des configurations personnalisées (pureté, dimensions, collage) et des rapports d'analyse des matériaux sont disponibles sur demande.

Applications des cibles de pulvérisation du nitrure de bore (BN)

Le nitrure de bore est une céramique unique dotée d'une conductivité thermique élevée et d'une excellente isolation électrique - cette combinaison est difficile à trouver. Les applications courantes sont les suivantes

• Fabrication de semi-conducteurs: Utilisé comme couches isolantes, films de passivation et barrières de diffusion dans la fabrication des circuits intégrés.

• Microélectronique et MEMS: Couches diélectriques, couches tampons pour les dispositifs GaN et revêtements protecteurs pour les capteurs.

• Revêtements optiques: Couches protectrices transparentes pour l'optique infrarouge et les composants laser

• Revêtements haute température: Le BN conserve sa stabilité à des températures extrêmes, ce qui est idéal pour les revêtements protecteurs dans les applications aérospatiales et industrielles.

• Recherche sur les matériaux 2D: le h-BN est largement utilisé comme substrat et couche diélectrique pour la recherche sur le graphène et d'autres matériaux 2D.

• Gestion thermique: Bien qu'il soit électriquement isolant, le BN a une conductivité thermique élevée. Il est utilisé dans les matériaux d'interface thermique et les répartiteurs de chaleur.

Conditionnement des cibles de pulvérisation de nitrure de bore (BN)

Le BN est mou par rapport aux cibles métalliques - il peut s'écailler ou se fissurer s'il est manipulé brutalement. Nous en tenons compte lors de l'emballage. Chaque cible est nettoyée, inspectée, puis scellée sous vide dans un emballage à l'épreuve de l'humidité. Pour les formes personnalisées ou les commandes plus importantes, nous utilisons des inserts en mousse personnalisés pour maintenir la cible stable pendant le transport. Si vous avez des exigences particulières en matière d'emballage (certification en salle blanche, etc.), faites-le nous savoir et nous nous adapterons.