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Stanford Advanced Materials
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ST11192 Cible rotative en oxyde d'indium et d'étain, cible ITO

Catalogue No. ST11192
Composition In2O3, SnO2
Pureté ≥99,99%, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Tubulaire
Dimensions Sur mesure

La cible rotative d'oxyde d'indium et d'étain (ITO) est fabriquée à partir d'un mélange contrôlé d'oxydes d'indium et d'étain afin d'obtenir des performances de pulvérisation uniformes. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des évaluations rigoureuses de la qualité, notamment des analyses spectroscopiques et des contrôles de routine de l'homogénéité des matériaux. Leur processus met l'accent sur la reproductibilité et le contrôle étroit de la composition afin de permettre un dépôt précis des films requis pour les applications semi-conductrices et optoélectroniques.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
Avis

FAQ

Quel est le rôle de la conception du rotor dans la performance de la pulvérisation ?

La conception rotative minimise l'échauffement localisé et l'érosion de la cible en favorisant une consommation régulière du matériau. Cela garantit des taux de dépôt stables et une meilleure uniformité du film, ce qui est essentiel dans des applications telles que la fabrication d'écrans et de cellules solaires.

Comment la composition des matériaux est-elle vérifiée au cours de la production ?

La composition est vérifiée à l'aide de techniques spectrométriques et d'analyses chimiques par lots. Ces tests minimisent les écarts dans le rapport indium/étain et garantissent des propriétés constantes de la cible dans des conditions de pulvérisation à haute puissance.

Les dimensions personnalisées peuvent-elles affecter la compatibilité de l'installation ?

Oui, les dimensions personnalisées permettent l'adaptation à divers systèmes de pulvérisation. Les clients doivent spécifier les exigences de leur équipement pour assurer la compatibilité avec les chambres de dépôt et maintenir la cohérence du processus. Pour plus de détails, veuillez nous contacter.

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