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Stanford Advanced Materials
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ST11179 Cible planaire Cobalt Fer Tantale Bore, cible CoFeTaB

Catalogue No. ST11179
Composition CoFeTaB
Pureté ≥99,9%, ou personnalisé
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire de cobalt, fer, tantale et bore (CoFeTaB) est produite avec un contrôle élémentaire précis et une surface plane et uniforme optimisée pour la déposition par pulvérisation cathodique. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise l'analyse spectrométrique et l'inspection microstructurale pendant la production pour contrôler l'homogénéité de l'alliage. Les paramètres du processus sont rigoureusement mesurés pour maintenir l'érosion du film et les taux de dépôt contrôlés, ce qui garantit que chaque cible offre des performances constantes pendant le traitement.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la conception planaire de la cible CoFeTaB améliore-t-elle l'uniformité du dépôt de film ?

La géométrie planaire assure une distribution uniforme du plasma sur la surface de la cible pendant la pulvérisation, ce qui minimise l'érosion localisée et favorise une épaisseur constante du film. Cette uniformité est essentielle pour maintenir l'intégrité des performances des films déposés dans les applications de semi-conducteurs.

Quelles sont les mesures de contrôle de la qualité mises en œuvre dans la production des cibles CoFeTaB ?

La production implique une analyse spectrométrique de routine et une inspection microstructurale détaillée. Ces mesures permettent de vérifier la composition de l'alliage et l'uniformité de la surface cible, ce qui réduit les variations dans les performances de dépôt. Pour plus d'informations, contactez-nous.

Les dimensions de la cible peuvent-elles être adaptées à des systèmes de pulvérisation spécifiques ?

Oui, les dimensions de la cible sont personnalisables, ce qui permet de l'intégrer à différents types d'équipements de pulvérisation. L'adaptation de la taille de la cible facilite l'alignement optimal et l'uniformité du dépôt dans les différentes installations de fabrication.

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