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Stanford Advanced Materials
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ST10712 Cible de pulvérisation rotative en platine Cible Pt

Catalogue No. ST10712
Matériau Platine
Pureté ≥99,9%, ou personnalisé
Formulaire Cible
Forme Rotary

Cible de pulvérisation rotative en platine La cible en platine est produite avec une composition et une microstructure étroitement contrôlées pour des performances de pulvérisation constantes. Fabriquée par Stanford Advanced Materials (SAM), la cible est soumise à une analyse métallurgique rigoureuse et à des essais chimiques pour confirmer sa pureté et son uniformité. SAM utilise une inspection microscopique avancée et une analyse de la composition pour contrôler les paramètres du matériau pendant le traitement, ce qui garantit que la cible répond aux exigences rigoureuses des systèmes de dépôt physique en phase vapeur.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment l'uniformité de la microstructure affecte-t-elle les performances de la pulvérisation ?

Une microstructure uniforme minimise les variations locales de l'érosion pendant la pulvérisation, ce qui permet de maintenir des taux de dépôt de film constants et de réduire la production de particules. Des inspections métallurgiques régulières garantissent cette uniformité, contribuant ainsi à des performances prévisibles dans les applications de dépôt.

Quelles sont les mesures à prendre pour éviter la contamination de la surface avant la pulvérisation ?

Les procédures de nettoyage avant la pulvérisation, y compris le nettoyage par ultrasons et la gravure au plasma, réduisent les risques de contamination. Le maintien d'un environnement de stockage contrôlé avec un faible taux d'humidité et une exposition minimale aux particules permet également de préserver l'intégrité de la surface de la cible jusqu'à son utilisation.

Quels sont les processus de contrôle de la qualité appliqués lors de la production de cette cible ?

La cible subit une analyse chimique complète et un examen microscopique pour vérifier sa pureté et son uniformité. Des mesures de densité et de phase en cours de fabrication sont effectuées pour confirmer que le matériau répond à des critères stricts de composition et de microstructure, essentiels pour une performance optimale de la pulvérisation.

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