Four tubulaire 1700C avec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Description
Le four tubulaire 1700Cavec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD est un four tubulaire en alumine à zone unique d'un diamètre de 60 mm, doté d'un système de pompe à vide poussé capable d'atteindre jusqu'à 10^-5 torr. Il est équipé de régulateurs de débit massique numériques de précision à 2 canaux, permettant un contrôle précis de deux types de gaz pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de diffusion. Ce four peut fonctionner à des températures allant jusqu'à 1600°C, ce qui le rend adapté aux applications à haute température nécessitant une atmosphère contrôlée et une gestion précise des gaz.
Four tubulaire 1700C avec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Caractéristiques techniques
Fourtubulaire dela série GSL-1700X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air : Assure une isolation et une intégrité structurelle robustes, garantissant un fonctionnement sûr.
- Ventilateurs de refroidissement doubles : maintient la température du boîtier en dessous de 55°C, améliorant ainsi la fiabilité et la longévité.
- Chambre réfractaire en alumine de haute pureté : Assure la stabilité thermique et la résistance aux températures élevées, idéale pour les applications exigeantes.
- Chariot mobile à quatre roues : Facilite la mobilité et le positionnement dans l'espace de travail, améliorant ainsi la flexibilité.
- Système de mélange de gaz et de vide prêt à l'emploi : Comprend une bride de vide, un manomètre, des vannes, des tuyaux et une pompe à vide poussé pour une installation et un fonctionnement immédiats, gage de commodité et d'efficacité.
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Tube de traitement
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Matériau : Alumine de haute pureté
Un tube de traitement en alumine de 60 mm de diamètre extérieur (EQ-TA-60D-M1000) est fourni avec le four.
Le four peut également être fabriqué sur mesure pour s'adapter au tube d'alumine de traitement de 50 mm ou 80 mm de diamètre extérieur, moyennant un coût supplémentaire, veuillez nous contacter pour plus d'informations.
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Éléments chauffants
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8 éléments chauffants MoSi2 de qualité 1800°C
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Alimentation électrique
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AC 208-240V monophasé, 50/60Hz
6KW
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1650℃ (1 h) ; 1600℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤5℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffage
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Longueur de la zone de chauffage : 457 mm (18")
Longueur de la zone de température constante : 150 mm (6") (+/-1°C)
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Contrôle de la temp. Contrôle de la température
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- Contrôle automatique PID par limitation de courant, angle de phase tiré de la résistance avec 30 segments programmables.
- Précision de la température : ±1°C
- Thermocouple : Type B intégré dans le four
- Port de communication RS485.
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Joint à vide
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Une paire de brides à vide en acier inoxydable avec :
- une jauge à vide mécanique
- deux vannes à pointeau
- un connecteur KF-25 et un adaptateur KF-25 à KF-40 pour la station de vide poussé.
- un connecteur de tube Swagelok 1/4
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Dimensions : 550 x 380 x 520 mm
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550 x 380 x 520 mm
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Station de vide poussé
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Puissance
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100~110W
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Tension nominale
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AC 208-240V monophasé, 50/60Hz
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Dimensions
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600(L) x 600(L) x 700(H), mm
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Structure
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Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
Intérieur : pompe à vide
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Panneau de commande
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Fonctionnement par un seul bouton - la pompe à membrane et la turbopompe démarrent après avoir appuyé sur le bouton "start".
Vitesse de rotation contrôlée par le système - le contrôleur contrôle la vitesse de rotation de la turbine en fonction du niveau de vide et du taux de fuite de la chambre de réaction.
Autoprotection - le système protège la pompe contre les dommages dus à la surchauffe et à la surintensité si le taux de fuite de la chambre de réaction est trop élevé pour obtenir un vide poussé.
Écran LCD - l'interface de vérification des paramètres à double ligne facilite le travail.
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Volume Débit
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Azote N2 33 L/s
Hélium He 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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<1E-8 mbar (sans fuite)
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Contrôle du débit massique de gaz
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Structure
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Vanne en acier inoxydable 316
Réservoir de mélange de gaz : Φ80X120mm
600 mm(L) x 745 mm(L) x 700 mm(H)
Panneau de commande à écran tactile couleur de 6 pouces pour faciliter le réglage des paramètres.
La commande par écran tactile et la commande à distance par PC sont commutables.
La plage de contrôle du débit et un certain nombre de voies de gaz sont disponibles pour la personnalisation. Veuillez nous contacter pour plus d'informations.
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Puissance
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23W par canal
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Tension nominale
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AC 220V/50Hz monophasé
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Notes et garantie
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Notes sur les applications
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Les pressions sous vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1500°C pour les tubes en alumine.
Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (pression absolue).
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Garantie
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Garantie limitée d'un an (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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- Certifié CE
- La certification NRTL (UL61010) ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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Dimensions d'expédition
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Deux caisses sur une palette en plastique : 45x45x35/caisse
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Avertissements
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- Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,02 MPa/ 3 PSI.
- Attention: Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Ne jamais chauffer le four lorsque le robinet d'échappement du gaz est fermé et qu'une pression positive existe dans la chambre du four. Le manomètre doit être utilisé pour surveiller étroitement l'état de la chambre à tout moment pendant le processus de chauffage ; ouvrez immédiatement la vanne de dégagement du gaz dès que la pression de la chambre a atteint plus de 3 PSI afin d'éviter des dommages imprévisibles.
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min).
- Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1500°C.
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Four tubulaire 1700C avec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Applications
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
Permet le dépôt de films minces et de revêtements sur des substrats avec des atmosphères gazeuses contrôlées.
Utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement de surface et la synthèse de nanomatériaux.
Facilite le mouvement contrôlé des atomes ou des molécules dans les matériaux solides.
Essentiel pour le dopage des matériaux semi-conducteurs et l'amélioration des propriétés des matériaux.
- Recuit et frittage à haute température :
Idéal pour les processus de recuit visant à améliorer la cristallinité des matériaux et à éliminer les défauts.
Permet le frittage des céramiques et des métaux pour la densification et l'amélioration des propriétés mécaniques.
- Recherche et développement :
Fournit un environnement contrôlé pour l'étude du comportement et des propriétés des matériaux à haute température.
Essentiel pour explorer de nouveaux matériaux et procédés dans les laboratoires de recherche.
Four tubulaire 1700C avec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD Emballage
Notre four tubulaire 1700C avec système de vide poussé et mélangeur de gaz MFC GSL-1700X-4-HVC-LD est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
Spécifications
Fourtubulaire dela série GSL-1700X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air : Assure une isolation et une intégrité structurelle robustes, garantissant un fonctionnement sûr.
- Ventilateurs de refroidissement doubles : maintient la température du boîtier en dessous de 55°C, améliorant ainsi la fiabilité et la longévité.
- Chambre réfractaire en alumine de haute pureté : Assure la stabilité thermique et la résistance aux températures élevées, idéale pour les applications exigeantes.
- Chariot mobile à quatre roues : Facilite la mobilité et le positionnement dans l'espace de travail, améliorant ainsi la flexibilité.
- Système de mélange de gaz et de vide prêt à l'emploi : Comprend une bride de vide, un manomètre, des vannes, des tuyaux et une pompe à vide poussé pour une installation et un fonctionnement immédiats, gage de commodité et d'efficacité.
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Tube de traitement
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Matériau : Alumine de haute pureté
Un tube de traitement en alumine de 60 mm de diamètre extérieur (EQ-TA-60D-M1000) est fourni avec le four.
Le four peut également être fabriqué sur mesure pour s'adapter au tube d'alumine de traitement de 50 mm ou 80 mm de diamètre extérieur, moyennant un coût supplémentaire, veuillez nous contacter pour plus d'informations.
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Éléments chauffants
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8 éléments chauffants MoSi2 de qualité 1800°C
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Alimentation électrique
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AC 208-240V monophasé, 50/60Hz
6KW
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1650℃ (1 h) ; 1600℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤5℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffe
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Longueur de la zone de chauffage : 457 mm (18")
Longueur de la zone de température constante : 150 mm (6") (+/-1°C)
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Contrôle de la temp. Contrôle de la température
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- Contrôle automatique PID par limitation de courant, angle de phase tiré de la résistance avec 30 segments programmables.
- Précision de la température : ±1°C
- Thermocouple : Type B intégré dans le four
- Port de communication RS485.
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Joint à vide
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Une paire de brides à vide en acier inoxydable avec :
- une jauge à vide mécanique
- deux vannes à pointeau
- un connecteur KF-25 et un adaptateur KF-25 à KF-40 pour la station de vide poussé.
- un connecteur de tube Swagelok 1/4
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Dimensions : 550 x 380 x 520 mm
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550 x 380 x 520 mm
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Station de vide poussé
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Puissance
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100~110W
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Tension nominale
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AC 208-240V monophasé, 50/60Hz
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Dimensions
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600(L) x 600(L) x 700(H), mm
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Structure
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Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
Intérieur : pompe à vide
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Panneau de commande
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Fonctionnement par un seul bouton - la pompe à membrane et la turbopompe démarrent après avoir appuyé sur le bouton "start".
Vitesse de rotation contrôlée par le système - le contrôleur contrôle la vitesse de rotation de la turbine en fonction du niveau de vide et du taux de fuite de la chambre de réaction.
Autoprotection - le système protège la pompe contre les dommages dus à la surchauffe et à la surintensité si le taux de fuite de la chambre de réaction est trop élevé pour obtenir un vide poussé.
Écran LCD - l'interface de vérification des paramètres à deux lignes facilite le travail.
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Volume Débit
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Azote N2 33 L/s
Hélium He 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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<1E-8 mbar (sans fuite)
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Contrôle du débit massique de gaz
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Structure
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Vanne en acier inoxydable 316
Réservoir de mélange de gaz : Φ80X120mm
600 mm(L) x 745 mm(L) x 700 mm(H)
Panneau de commande à écran tactile couleur de 6 pouces pour faciliter le réglage des paramètres.
La commande par écran tactile et la commande à distance par PC sont commutables.
La plage de contrôle du débit et un certain nombre de voies de gaz sont disponibles pour la personnalisation. Veuillez nous contacter pour plus d'informations.
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Puissance
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23W par canal
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Tension nominale
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AC 220V/50Hz monophasé
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Notes et garantie
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Notes sur les applications
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Les pressions sous vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1500°C pour les tubes en alumine.
Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (pression absolue).
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Garantie
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Garantie limitée d'un an (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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- Certifié CE
- La certification NRTL (UL61010) ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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Dimensions d'expédition
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Deux caisses sur une palette en plastique : 45x45x35/caisse
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Avertissements
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- Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,02 MPa/ 3 PSI.
- Attention: Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Ne jamais chauffer le four lorsque le robinet d'échappement du gaz est fermé et qu'une pression positive existe dans la chambre du four. Le manomètre doit être utilisé pour surveiller étroitement l'état de la chambre à tout moment pendant le processus de chauffage ; ouvrez immédiatement la vanne de dégagement du gaz dès que la pression de la chambre a atteint plus de 3 PSI afin d'éviter des dommages imprévisibles.
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min).
- Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1500°C.
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