1200C Four à tube coulissant double pour CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Description
Le fourà tube coulissant double 1200C pour CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD est un four coulissant double sur rail, conçu spécifiquement pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Il est équipé d'un tube en quartz de 2" de diamètre extérieur x 55" de longueur avec des brides et peut atteindre une température de travail maximale de 1200°C. Cette conception unique permet à deux fours à tube de 2" de glisser le long du rail, ce qui facilite le positionnement optimal pour l'évaporation/sublimation thermique des matériaux sources et le dépôt de films.
Le glissement du four d'un côté à l'autre permet des vitesses de chauffage et de refroidissement rapides allant jusqu'à 100°C/min. Les caractéristiques optionnelles comprennent le glissement motorisé pour une meilleure automatisation, les systèmes de distribution de gaz MFC (Mass Flow Controller) et un générateur de plasma RF. Ces options permettent de construire un système CVD thermique (TCVD) flexible à faible coût, adapté à une large gamme d'applications industrielles et de recherche.
Four tubulaire à double glissière 1200C pour CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Spécifications
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Structures en acier à double couche : Les deux fours sont construits avec de l'acier double couche, capable de résister à des températures allant jusqu'à 1200°C.
- Zones de chauffage et de température constante : Chaque four comporte une zone de chauffage de 200 mm et une zone de température constante de 60 mm de long, assurant un contrôle thermique précis.
- Système de rails coulissants : Équipé d'une paire de rails coulissants à la base, permettant un réglage manuel d'un côté à l'autre avec une distance de glissement maximale de 400 mm, facilitant un positionnement et un fonctionnement flexibles.
- Brides de vide prêtes à l'emploi : Les brides de vide sont préinstallées pour une installation et une utilisation immédiates, assurant une intégration rapide dans les systèmes de vide pour diverses applications.
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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2.5KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffage
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200 mm (~8") pour chaque four
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Zone de température constante
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60 mm
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Taille du tube de traitement
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Tube en quartz fondu de haute pureté
Taille : 50 mm de diamètre extérieur x 44 mm de diamètre intérieur x 1500 mm de longueur
En option : Le tube en alliage haute température S310 est disponible pour une pression plus élevée (100 PSI) moyennant un coût supplémentaire.
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Deux fours sont équipés d'un contrôle automatique PID avec 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
- L'alarme de surchauffe et la protection intégrées permettent un fonctionnement sans opérateur.
- Deux couples thermiques de type K sont inclus.
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Brides à vide
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- Des brides de vide en acier inoxydable avec une jauge de vide sont installées aux deux extrémités du tube avec un support robuste.
- Une bride optionnelle avec un port de vide KF25 et une jauge de vide numérique est disponible moyennant un supplément de prix, ainsi qu'une bride pour l'eau froide.
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Rails coulissants / Table
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- Double rail coulissant en acier chromé
- Longueur de glissement : 1200 mm
- Deux pinces d'arrêt de glissement sont incluses pour maintenir la position des fours.
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Dimensions
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- Four : 340 x 300 x 400 mm
- Total : 1600 x 430 x 500 mm (fours + glissières)
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Poids net
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~ 80 kg
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Taille du colis d'expédition
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70" x 45" x 45" (pouces)
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Les certifications NRTL ou CSA sont disponibles sur demande moyennant un supplément de prix.
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Remarques
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- Les fours tubulaires avec des tubes en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
- Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Four tubulaire à double glissière 1200C pour applications CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD
Facilite le dépôt de couches minces et de revêtements sur des substrats par des procédés thermiques.
Utilisé dans la production de semi-conducteurs, de cellules photovoltaïques et de matériaux avancés.
Permet la synthèse de nanomatériaux, tels que les nanotubes et le graphène, par des procédés thermiques contrôlés.
Favorise le développement de céramiques et de matériaux composites avancés.
- Évaporation/sublimation des matières premières :
Positionne deux fours tubulaires sur un rail coulissant afin d'optimiser les processus d'évaporation thermique ou de sublimation des matériaux de base.
Facilite un positionnement précis pour un dépôt de film et un traitement des matériaux uniformes.
- Taux de chauffage et de refroidissement élevés :
Permet d'atteindre des vitesses de chauffage et de refroidissement rapides allant jusqu'à 100°C/min, ce qui est essentiel pour optimiser les temps de traitement et les propriétés des matériaux.
- Configuration flexible du système :
Offre des caractéristiques optionnelles telles que le glissement motorisé, les systèmes de distribution de gaz MFC (Mass Flow Controller) et l'intégration de générateurs de plasma RF.
Cela permet de personnaliser et d'adapter facilement le système aux besoins spécifiques de la recherche ou de l'industrie.
Four à tube coulissant double 1200C pour CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD Emballage
Notre four 1200C à double tube coulissant pour CVD OTF-1200X-S2-50SL-CVD est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
Spécifications
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Structures en acier double couche : Les deux fours sont construits en acier double couche, capable de résister à des températures allant jusqu'à 1200°C.
- Zones de chauffage et de température constante : Chaque four comporte une zone de chauffage de 200 mm et une zone de température constante de 60 mm de long, assurant un contrôle thermique précis.
- Système de rails coulissants : Équipé d'une paire de rails coulissants à la base, permettant un réglage manuel d'un côté à l'autre avec une distance de glissement maximale de 400 mm, facilitant un positionnement et un fonctionnement flexibles.
- Brides de vide prêtes à l'emploi : Les brides de vide sont préinstallées pour une installation et une utilisation immédiates, assurant une intégration rapide dans les systèmes de vide pour diverses applications.
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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2.5KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffage
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200 mm (~8") pour chaque four
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Zone de température constante
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60 mm
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Taille du tube de traitement
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Tube en quartz fondu de haute pureté
Taille : 50 mm de diamètre extérieur x 44 mm de diamètre intérieur x 1500 mm de longueur
En option : Le tube en alliage haute température S310 est disponible pour une pression plus élevée (100 PSI) moyennant un coût supplémentaire.
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Deux fours sont équipés d'un contrôle automatique PID avec 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
- L'alarme de surchauffe et la protection intégrées permettent un fonctionnement sans opérateur.
- Deux couples thermiques de type K sont inclus.
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Brides à vide
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- Des brides de vide en acier inoxydable avec une jauge de vide sont installées aux deux extrémités du tube avec un support robuste.
- Une bride optionnelle avec un port de vide KF25 et une jauge de vide numérique est disponible moyennant un supplément de prix, ainsi qu'une bride pour l'eau froide.
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Rails coulissants / Table
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- Double rail coulissant en acier chromé
- Longueur de glissement : 1200 mm
- Deux pinces d'arrêt de glissement sont incluses pour maintenir la position des fours.
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Dimensions
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- Four : 340 x 300 x 400 mm
- Total : 1600 x 430 x 500 mm (fours + glissières)
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Poids net
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~ 80 kg
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Taille du colis d'expédition
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70" x 45" x 45" (pouces)
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Les certifications NRTL ou CSA sont disponibles sur demande moyennant un supplément de prix.
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Remarques
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- Les fours tubulaires avec des tubes en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
- Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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