Four tubulaire 1200C avec ensemble anticorrosif OTF-1200X-F3LV Description
Le four tubulaire 1200Cavec ensemble anticorrosion OTF-1200X-F3LV est un four tubulaire à zone unique divisible, doté d'un tube en quartz de 80 mm de diamètre, d'une pompe à vide mécanique et d'un système de flux de gaz à trois canaux. Il peut atteindre un vide maximal de 10^-2 torr et mélanger 1 à 3 types de gaz pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou de diffusion. Ce système de four est équipé d'un système de gaz en PTFE, qui offre des propriétés anticorrosives supérieures à celles de l'acier inoxydable. Le système comprend une jauge anticorrosion, une pompe à vide avec un piège à froid et un système de mélange de gaz et de brides en PTFE, ce qui garantit la durabilité et la précision de la manipulation des gaz agressifs.
Four tubulaire 1200C avec kit anticorrosion OTF-1200X-F3LV Caractéristiques techniques
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air: Assure une durabilité et une sécurité accrues
- Thermostat intégré : Activation automatique du système de refroidissement lorsque la température de la carcasse dépasse 55°C
- Jauge anticorrosion : Permet des mesures précises du vide, même en présence de gaz agressifs.
- Pompe à vide avec piège à froid : Protège la pompe à vide en empêchant les gaz agressifs de l'atteindre.
- Mélangeur de gaz et bride en PTFE : Minimise le contact des gaz agressifs avec les surfaces sensibles
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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2,5KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffage
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400 mm
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Contrôle automatique PID via le contrôle de puissance SCR (Silicon Controlled Rectifier) avec angle de phase tiré, résistance de limitation de courant.
- 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
- Fonction PID Auto-Tune intégrée avec protection contre la surchauffe et les ruptures de thermocouple.
- La protection contre la surchauffe et l'alarme permettent un fonctionnement sans personnel.
- Précision de température de ±1 ºC.
- Port de communication RS485.
*Contrôle avancé de la température (en option)
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Taille du tube et matériaux
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Tube en quartz
Diamètre extérieur : 80 mm x diamètre intérieur : 75 mm x longueur : 1000 mm
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Vacuomètre numérique
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- Jauge à membrane capacitive résistante à la corrosion avec tête de capteur à revêtement céramique spécialement conçue pour les mesures de vide en présence de gaz corrosifs.
- La jauge est installée sur la bride de vide (côté droit) du four tubulaire et offre une large plage de mesure (10^-5 ~ 1000 torr).
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Brides d'étanchéité au vide
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Un ensemble de brides en PTFE avec une jauge à vide et une vanne.
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Pompe à vide
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- Une pompe à vide à palettes rotatives à double étage de 156 L/m est incluse avec une pression de vide maximale de 10E-4 torr.
- Un tuyau en acier inoxydable est inclus pour la connexion au four tubulaire.
- Un piège à froid est inclus pour capturer les matériaux corrosifs.
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Débitmètre et manomètre
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Un mélangeur de gaz à trois canaux en PTFE est installé à l'intérieur de la mallette mobile pour permettre la surveillance des débits de gaz.
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Dimensions du four
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- Four : 550 x 380 x 520 mm
- Caisson mobile inférieur : 600 x 600 x 650 mm
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Poids net
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~ 70 kg
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Poids à l'expédition
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350 lbs
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Dimensions d'expédition
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Deux caisses dans une palette : 45 "x45 "x35" / caisse
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Les certifications NRTL ou CSA sont disponibles sur demande moyennant un supplément de prix.
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Remarques
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- Pour obtenir une température précise à l'intérieur du four tubulaire, vous devez calibrer la température vous-même.
- Avertissement : Les fours tubulaires avec tube en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar.
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur une bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Le débit des gaz doit être limité à <200 SCCM pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
- Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Four tubulaire 1200C avec kit anticorrosion OTF-1200X-F3LV Applications
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
Idéal pour déposer des couches minces et des revêtements sur divers substrats.
Utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques.
Facilite le mouvement des atomes ou des molécules dans les solides.
Essentiel pour le développement et le traitement des matériaux semi-conducteurs.
- Traitements thermiques sous vide :
Permet le recuit, le frittage et d'autres traitements thermiques dans un environnement sous vide contrôlé.
Réduit la contamination et l'oxydation, améliorant ainsi les propriétés des matériaux.
- Protection contre les gaz de protection :
Équipé d'un système de gaz PTFE pour des propriétés anticorrosives supérieures.
Convient aux expériences nécessitant l'utilisation de gaz corrosifs ou réactifs.
Four tubulaire 1200C avec kit anticorrosion OTF-1200X-F3LV Emballage
Notre four tubulaire 1200C avec ensemble anti-corrosif OTF-1200X-F3LV est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
Spécifications
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air: Assure une durabilité et une sécurité accrues
- Thermostat intégré : Activation automatique du système de refroidissement lorsque la température de la carcasse dépasse 55°C
- Jauge anticorrosion : Permet des mesures précises du vide, même en présence de gaz agressifs.
- Pompe à vide avec piège à froid : Protège la pompe à vide en empêchant les gaz agressifs de l'atteindre.
- Mélangeur de gaz et bride en PTFE : Minimise le contact des gaz agressifs avec les surfaces sensibles
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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2,5KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de lazone de chauffage
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400 mm
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Contrôle automatique PID via le contrôle de puissance SCR (Silicon Controlled Rectifier) avec angle de phase tiré, résistance de limitation de courant.
- 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
- Fonction PID Auto-Tune intégrée avec protection contre la surchauffe et les ruptures de thermocouple.
- La protection contre la surchauffe et l'alarme permettent un fonctionnement sans personnel.
- Précision de température de ±1 ºC.
- Port de communication RS485.
*Contrôle avancé de la température (en option)
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Taille du tube et matériaux
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Tube en quartz
Diamètre extérieur : 80 mm x diamètre intérieur : 75 mm x longueur : 1000 mm
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Vacuomètre numérique
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- Jauge à membrane capacitive résistante à la corrosion avec tête de capteur à revêtement céramique spécialement conçue pour les mesures de vide en présence de gaz corrosifs.
- La jauge est installée sur la bride de vide (côté droit) du four tubulaire et offre une large plage de mesure (10^-5 ~ 1000 torr).
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Brides d'étanchéité au vide
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Un ensemble de brides en PTFE avec une jauge à vide et une vanne.
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Pompe à vide
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- Une pompe à vide à palettes rotatives à double étage de 156 L/m est incluse avec une pression de vide maximale de 10E-4 torr.
- Un tuyau en acier inoxydable est inclus pour la connexion au four tubulaire.
- Un piège à froid est inclus pour capturer les matériaux corrosifs.
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Débitmètre et manomètre
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Un mélangeur de gaz à trois canaux en PTFE est installé à l'intérieur de la mallette mobile pour permettre la surveillance des débits de gaz.
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Dimensions du four
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- Four : 550 x 380 x 520 mm
- Caisson mobile inférieur : 600 x 600 x 650 mm
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Poids net
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~ 70 kg
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Poids à l'expédition
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350 lbs
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Dimensions d'expédition
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Deux caisses dans une palette : 45 "x45 "x35" / caisse
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Les certifications NRTL ou CSA sont disponibles sur demande moyennant un supplément de prix.
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Remarques
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- Pour obtenir une température précise à l'intérieur du four tubulaire, vous devez calibrer la température vous-même.
- Avertissement : Les fours tubulaires avec tube en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar.
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur une bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Le débit des gaz doit être limité à <200 SCCM pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
- Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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