1200C Four tubulaire à trois zones avec pompe à vide pour CVD OTF-1200X-4-III-9HV Description
Le four tubulaire 1200C à trois zonesavec pompe à vide pour CVD OTF-1200X-4-III-9HV est un four tubulaire divisé à trois zones, certifié CE, d'un diamètre de 4", conçu pour les traitements thermiques avancés. Il est équipé d'une pompe à vide capable d'atteindre 10^-4 torr et d'un système de contrôle des gaz à débitmètre massique numérique de précision avec un panneau tactile PLC à 9 canaux. Ce système peut contrôler jusqu'à neuf types de gaz, ce qui le rend idéal pour les processus de dépôt chimique en phase vapeur (CVD) et de diffusion.
Four tubulaire 1200C à trois zones avec pompe à vide pour CVD OTF-1200X-4-III-9HV Caractéristiques techniques
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air.
- Revêtement en carton d'alumine de haute pureté pour un fonctionnement économique en énergie.
- Trois zones de chauffage avec trois régulateurs de température indépendants.
- Les systèmes de vide et de mélange des gaz sont situés dans la partie inférieure. Chariot mobile à 4 roues.
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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7KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de la zone de chauffage
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Trois zones : (880 mm, 35" au total)
Zone 1 : 220 mm + Zone 2 : 440 mm + Zone 3 : 220 mm
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Température constante Zone à température constante
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20" (500 mm) de long
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Contrôleur de temp. Contrôleur
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- Trois régulateurs de température numériques de précision programmables avec 30 segments, qui contrôlent chaque zone de chauffage séparément.
- PID réglable avec fonction de réglage automatique pour assurer la stabilité de la température à +/ - 1 ℃.
- Protection complète de chaque régulateur en cas de surchauffe et de rupture du couple thermique.
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Taille du tube et matériaux
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Tube en quartz fondu
100 mm de diamètre extérieur x 92 mm de diamètre intérieur x 1400 mm
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Thermocouple
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Trois thermocouples de type K
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Station de vide poussé
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Accessoires pour le vide
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Les accessoires de vide standard comprennent :
- Deux brides à vide en acier inoxydable avec connecteur de pompe KF-25, deux vannes à aiguille et un connecteur de tube Swagelok de 1/4".
- Six joints toriques en silicone haute température pour une utilisation à moins de 300°C.
- Deux paires de thermoblocs en alumine sont incluses pour protéger la bride des radiations thermiques.
- Un soufflet à vide KF-40
- Trois colliers rapides KF-40.
- Deux colliers rapides KF-25.
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Structure
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- Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
- Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
- Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
- A l'intérieur : Pompe à vide
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Capteur de vide
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Le capteur de vide est équipé d'un connecteur KF-25.
Jauge de vide élevée (plage de mesure 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tension nominale
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208-240 V CA, monophasé, 50/60 Hz
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Panneau de commande
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Fonctionnement avec un seul bouton - la pompe à membrane et la pompe turbomoléculaire démarrent après avoir appuyé sur le bouton "start".
Vitesse de rotation contrôlée par le système - le contrôleur contrôle la vitesse de rotation de la turbine en fonction du niveau de vide et du taux de fuite de la chambre de réaction.
Autoprotection - le système protège la pompe contre les dommages dus à la surchauffe et à la surintensité si le taux de fuite de la chambre de réaction est trop élevé pour atteindre le vide poussé.
Écran LCD - l'interface de vérification des paramètres à deux lignes facilite le travail.
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Volume Débit
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Azote N2 33 L/s
Hélium He 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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10^-5 torr (avec four tubulaire)
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Alimentation électrique
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110V AC ou 220V AC commutable, 50/60Hz
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Consommation électrique
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Durée/puissance maximale : 100/110 Watt
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Contrôleur de débit massique
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Contrôleur de débit massique
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9 contrôleurs de débit massique de précision sont installés dans le chariot mobile inférieur avec un panneau d'affichage numérique de +/-1,5 % de la pleine échelle.
- Contrôleur 1 : 0~100 SCCM
- Contrôleur 2 : 1~199 SCCM
- Contrôleur 3 : 1~199 SCCM
- Contrôleur 4 : 1~499 SCCM
- Contrôleur 5-9 : la plage de mesure peut être personnalisée sur demande.
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Autres pièces
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Raccord de tuyau de gaz
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Un raccord de tube de 1/4" est installé sur la bride gauche comme entrée de gaz.
Chaque station MFC est équipée de quatre raccords Swagelok de 1/4". Et quatre vannes marche/arrêt pour chaque circuit de gaz. La cinquième est utilisée comme sortie de gaz.
Le tuyau de gaz PTFE de 1/4" est inclus dans l'emballage standard.
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Informations sur l'expédition
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Dimensions du four
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Four : 550 x 380 x 520 mm
Station MFC : 600 x 600 x 700 mm
Station HV : 600 x 600 x 700 mm
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Poids
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Poids net : 100Kg
Poids à l'expédition : 350 lb (deux palettes)
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Garantie
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Garantie limitée d'un an (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certificat CE/UL/CSA
Veuillez sélectionner le certificat dans la barre d'options :
Certificat CE & UL/CSA prêt à passer le certificat UL/CSA moyennant un coût supplémentaire
Certificat UL - Approbations UL (UL 61010)
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Avertissement
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Les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (pression absolue).
Attention: Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Four tubulaire 1200C à trois zones avec pompe à vide pour applications CVD OTF-1200X-4-III-9HV
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
- Dépôt de films minces et de revêtements sur des substrats.
- Utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques.
- Facilite le mouvement des atomes ou des molécules dans les solides.
- Essentiel pour le développement et le traitement des matériaux semi-conducteurs.
- Traitements thermiques sous vide :
- Permet le recuit, le frittage et d'autres traitements thermiques dans un environnement sous vide contrôlé.
- Réduit la contamination et l'oxydation, améliorant ainsi les propriétés des matériaux.
- Protection par gaz de protection :
- Permet des expériences nécessitant des atmosphères inertes ou réductrices.
- Protège les échantillons de l'oxydation et d'autres interactions atmosphériques pendant le traitement.
Four tubulaire 1200C à trois zones avec pompe à vide pour CVD OTF-1200X-4-III-9HV Emballage
Notre four tubulaire 1200C à trois zones avec pompe à vide pour CVD OTF-1200X-4-III-9HV est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
Spécifications
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air.
- Revêtement en carton d'alumine de haute pureté pour un fonctionnement économique en énergie.
- Trois zones de chauffage avec trois régulateurs de température indépendants.
- Les systèmes de vide et de mélange des gaz sont situés dans la partie inférieure. Chariot mobile à 4 roues.
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Puissance
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7KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Temp. : 1200℃ (1 hr) ; 1100℃ (continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de la zone de chauffage
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Trois zones : (880 mm, 35" au total)
Zone 1 : 220 mm + Zone 2 : 440 mm + Zone 3 : 220 mm
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Température constante Zone à température constante
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20" (500 mm) de long
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Contrôleur de temp. Contrôleur
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- Trois régulateurs de température numériques de précision programmables avec 30 segments, qui contrôlent chaque zone de chauffage séparément.
- PID réglable avec fonction de réglage automatique pour assurer la stabilité de la température à +/ - 1 ℃.
- Protection complète de chaque régulateur en cas de surchauffe et de rupture du couple thermique.
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Taille du tube et matériaux
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Tube en quartz fondu
100 mm de diamètre extérieur x 92 mm de diamètre intérieur x 1400 mm
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Thermocouple
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Trois thermocouples de type K
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Station de vide poussé
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Accessoires pour le vide
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Les accessoires de vide standard comprennent :
- Deux brides à vide en acier inoxydable avec connecteur de pompe KF-25, deux vannes à aiguille et un connecteur de tube Swagelok de 1/4".
- Six joints toriques en silicone haute température pour une utilisation à moins de 300°C.
- Deux paires de thermoblocs en alumine sont incluses pour protéger la bride des radiations thermiques.
- Un soufflet à vide KF-40
- Trois colliers rapides KF-40.
- Deux colliers rapides KF-25.
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Structure
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- Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
- Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
- Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
- A l'intérieur : Pompe à vide
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Capteur de vide
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Le capteur de vide est équipé d'un connecteur KF-25.
Jauge de vide élevée (plage de mesure 10^-8 mbar ~ 10^3 mbar)
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Tension nominale
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208-240 V CA, monophasé, 50/60 Hz
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Panneau de commande
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Fonctionnement avec un seul bouton - la pompe à membrane et la pompe turbomoléculaire démarrent après avoir appuyé sur le bouton "start".
Vitesse de rotation contrôlée par le système - le contrôleur contrôle la vitesse de rotation de la turbine en fonction du niveau de vide et du taux de fuite de la chambre de réaction.
Autoprotection - le système protège la pompe contre les dommages dus à la surchauffe et à la surintensité si le taux de fuite de la chambre de réaction est trop élevé pour atteindre le vide poussé.
Écran LCD - l'interface de vérification des paramètres à deux lignes facilite le travail.
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Volume Débit
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Azote N2 33 L/s
Hélium He 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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10^-5 torr (avec four tubulaire)
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Alimentation électrique
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110V AC ou 220V AC commutable, 50/60Hz
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Consommation électrique
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Durée/puissance maximale : 100/110 Watt
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Contrôleur de débit massique
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Contrôleur de débit massique
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9 contrôleurs de débit massique de précision sont installés dans le chariot mobile inférieur avec un panneau d'affichage numérique de +/-1,5 % de la pleine échelle.
- Contrôleur 1 : 0~100 SCCM
- Contrôleur 2 : 1~199 SCCM
- Contrôleur 3 : 1~199 SCCM
- Contrôleur 4 : 1~499 SCCM
- Contrôleur 5-9 : la plage de mesure peut être personnalisée sur demande.
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Autres pièces
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Raccord de tuyau de gaz
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Un raccord de tube de 1/4" est installé sur la bride gauche comme entrée de gaz.
Chaque station MFC est équipée de quatre raccords Swagelok de 1/4". Et quatre vannes marche/arrêt pour chaque circuit de gaz. La cinquième est utilisée comme sortie de gaz.
Le tuyau de gaz PTFE de 1/4" est inclus dans l'emballage standard.
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Informations sur l'expédition
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Dimensions du four
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Four : 550 x 380 x 520 mm
Station MFC : 600 x 600 x 700 mm
Station HV : 600 x 600 x 700 mm
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Poids
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Poids net : 100Kg
Poids à l'expédition : 350 lb (deux palettes)
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Garantie
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Garantie limitée d'un an (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couverts par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certificat CE/UL/CSA
Veuillez sélectionner le certificat dans la barre d'options :
Certificat CE & UL/CSA prêt à passer le certificat UL/CSA moyennant un coût supplémentaire
Certificat UL - Approbations UL (UL 61010)
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Avertissement
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Les fours tubulaires à tube de quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,12 MPa (pression absolue).
Attention: Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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