Four tubulaire à trois zones 1200C pour CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Description
La station de travail de la sérieOTF-1200X-III-HVC comprend un four tubulaire à trois zones de la série OTF-1200X-III, une station de contrôle du débit massique de gaz de précision, une station de vide poussé et d'autres composants essentiels. Cette station de travail a une température de travail maximale de 1200°C et peut atteindre un niveau de vide ultime de 10^-4 torr avec l'ensemble d'étanchéité fourni. La station de contrôle du débit massique de gaz mélange plusieurs types de gaz et introduit le gaz mélangé dans un tube de quartz fondu à l'intérieur du four. Il est idéal pour mener des expériences telles que le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), la diffusion et d'autres traitements thermiques dans des conditions de vide avec une protection par gaz de protection. Le four est également équipé d'une station de contrôle du débit massique à affichage numérique LED à 4 canaux pour une gestion précise du gaz.
Four tubulaire 1200C à trois zones pour CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Caractéristiques techniques
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air.
- Thermostat intégré pour contrôler le fonctionnement automatique du refroidissement lorsque la température est supérieure à 55°C.
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Tube de traitement
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- Matériau : Tube en quartz fondu
- Un tube de traitement est fourni avec le four.
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Puissance
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7KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Température : 1200℃ (1 h) ; 1100℃ (en continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de la zone de chauffage
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Zone de chauffage totale : 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Trois régulateurs de température de précision pour contrôler trois zones séparément.
- Contrôle automatique PID avec 30 segments programmables.
- Précision de la température : ±1°C
- Thermocouple : Type K intégré dans le four
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Joint à vide
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- Une paire de brides de vide en acier inoxydable avec :
un manomètre mécanique
deux vannes à pointeau
un connecteur KF-40 pour la station de vide poussé
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Dimensions
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1100(L) x 450(L) x 670(H), mm
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Tension nominale
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208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Station de vide poussé
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Structure
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Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
Intérieur : pompe à vide
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Débit volumétrique
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Azote N2 : 33 L/s
Hélium He : 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 : 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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<1E-8 mbar (sans fuite)
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Tension et puissance
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110VAC ou 220VAC, 110W
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Contrôle du débit massique de gaz
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Structure
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- Système de contrôle des gaz à 2-9 canaux avec écran tactile PLC et logiciel d'exploitation PC
- Affichage LED
- MFC à 4 canaux Fabriqué en acier inoxydable 316 avec une gamme de débit de gaz comme ci-dessous :
Contrôleur 1 : 0~100SCCM
Contrôleur 2 : 1~199 SCCM
Contrôleur 3 : 1~199 SCCM
Contrôleur 4 : 1~499 SCCM
- Le gaz à 4 canaux passe par un réservoir de mélange de gaz : Φ80X120mm
- Dimension : 600(L) x 745(L) x 700(H), mm
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Puissance
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18W par canal
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Tension nominale
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AC 208-240V, monophasé, 50/60Hz
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Expédition et garantie
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Dimensions d'expédition
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Total des trois palettes : (#1 : 60" x 45" x 40" ; #2 : 48" x 40" x 42" ; #3 : 48" x 40" x 42")
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Poids à l'expédition
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850 lbs
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Garantie
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Garantie limitée d'un an
(Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Certification NRTL ou CSA moyennant un supplément de prix.
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Avertissement
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Les fours tubulaires avec tube en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi.
Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Four tubulaire 1200C à trois zones pour les applications CVD OTF-1200X-III-HVC-LD
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
- Dépôt de films minces et de revêtements sur des substrats.
- Utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs et de cellules photovoltaïques.
- Facilite le mouvement des atomes ou des molécules dans les solides.
- Essentiel pour le développement et le traitement des matériaux semi-conducteurs.
- Traitements thermiques sous vide :
- Permet le recuit, le frittage et d'autres traitements thermiques dans un environnement sous vide contrôlé.
- Réduit la contamination et l'oxydation, améliorant ainsi les propriétés des matériaux.
- Protection par gaz de protection :
- Permet des expériences nécessitant des atmosphères inertes ou réductrices.
- Protège les échantillons de l'oxydation et d'autres interactions atmosphériques pendant le traitement.
Four tubulaire 1200C à trois zones pour CVD OTF-1200X-III-HVC-LD Emballage
Notre four tubulaire 1200C à trois zones pour CVD OTF-1200X-III-HVC-LD est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
Spécifications
Fourtubulaire dela série OTF-1200X
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air.
- Thermostat intégré pour contrôler le fonctionnement automatique du refroidissement lorsque la température est supérieure à 55°C.
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Tube de traitement
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- Matériau : Tube en quartz fondu
- Un tube de traitement est fourni avec le four.
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Puissance
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7KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Température : 1200℃ (1 h) ; 1100℃ (en continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de la zone de chauffage
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Zone de chauffage totale : 900mm (300mm + 300mm + 300mm)
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Trois régulateurs de température de précision pour contrôler trois zones séparément.
- Contrôle automatique PID avec 30 segments programmables.
- Précision de la température : ±1°C
- Thermocouple : Type K intégré dans le four
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Joint à vide
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- Une paire de brides de vide en acier inoxydable avec :
un manomètre mécanique
deux vannes à pointeau
un connecteur KF-40 pour la station de vide poussé
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Dimensions
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1100(L) x 450(L) x 670(H), mm
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Tension nominale
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208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Station de vide poussé
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Structure
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Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm
Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus
Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique
Intérieur : pompe à vide
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Débit volumétrique
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Azote N2 : 33 L/s
Hélium He : 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 : 32 L/s
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Plage de travail
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De 1000 mbar à <1E-7 mbar
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Pression ultime
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<1E-8 mbar (sans fuite)
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Tension et puissance
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110VAC ou 220VAC, 110W
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Contrôle du débit massique de gaz
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Structure
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- Système de contrôle des gaz à 2-9 canaux avec écran tactile PLC et logiciel d'exploitation PC
- Écran LED
- MFC à 4 canaux Fabriqué en acier inoxydable 316 avec une gamme de débit de gaz comme ci-dessous :
Contrôleur 1 : 0~100SCCM
Contrôleur 2 : 1~199 SCCM
Contrôleur 3 : 1~199 SCCM
Contrôleur 4 : 1~499 SCCM
- Le gaz à 4 canaux passe par un réservoir de mélange de gaz : Φ80X120mm
- Dimension : 600(L) x 745(L) x 700(H), mm
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Puissance
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18W par canal
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Tension nominale
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AC 208-240V, monophasé, 50/60Hz
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Expédition et garantie
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Dimensions d'expédition
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Total des trois palettes : (#1 : 60" x 45" x 40" ; #2 : 48" x 40" x 42" ; #3 : 48" x 40" x 42")
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Poids à l'expédition
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850 lbs
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Garantie
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Garantie limitée d'un an
(Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
Certification NRTL ou CSA moyennant un supplément de prix.
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Avertissement
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Les fours tubulaires avec tube en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi.
Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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