Arrêté MF5930 (Abandonné) 1200C Four tubulaire à trois zones pour CVD OTF-1200X-III-HVC-LD

Structure du four

• Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air.
• Thermostat intégré pour contrôler le fonctionnement automatique du refroidissement lorsque la température est supérieure à 55°C.

Tube de traitement

• Matériau : Tube en quartz fondu
• Un tube de traitement est fourni avec le four.

Puissance

7KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz

Temp. de travail

• Temp. max. Température : 1200℃ (1 h) ; 1100℃ (en continu)
• Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
• Précision de la température : ±1.0℃

Longueur de la zone de chauffage

Zone de chauffage totale : 900mm (300mm + 300mm + 300mm)

Éléments chauffants

Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo

Contrôleur de temp. Contrôleur de température

• Trois régulateurs de température de précision pour contrôler trois zones séparément.
• Contrôle automatique PID avec 30 segments programmables.
• Précision de la température : ±1°C
• Thermocouple : Type K intégré dans le four

Joint à vide

• Une paire de brides de vide en acier inoxydable avec :

un manomètre mécanique

deux vannes à pointeau

un connecteur KF-40 pour la station de vide poussé

Dimensions

1100(L) x 450(L) x 670(H), mm

Tension nominale

208-240VAC, monophasé, 50/60Hz

Structure

Dimensions du chariot mobile : 600 (L) x 600 (l) x 700 (H), mm

Chargement max. Chargement : 600 Lbs sur le dessus

Panneau de contrôle de la pompe moléculaire : LCD numérique

Intérieur : pompe à vide

Débit volumétrique

Azote N2 : 33 L/s
Hélium He : 39 L/s (2340L/minute)
Hydrogène H2 : 32 L/s

Plage de travail

De 1000 mbar à <1E-7 mbar

Pression ultime

<1E-8 mbar (sans fuite)

Tension et puissance

110VAC ou 220VAC, 110W

Structure

• Système de contrôle des gaz à 2-9 canaux avec écran tactile PLC et logiciel d'exploitation PC
• Affichage LED
• MFC à 4 canaux Fabriqué en acier inoxydable 316 avec une gamme de débit de gaz comme ci-dessous :

Contrôleur 1 : 0~100SCCM

Contrôleur 2 : 1~199 SCCM

Contrôleur 3 : 1~199 SCCM

Contrôleur 4 : 1~499 SCCM

• Le gaz à 4 canaux passe par un réservoir de mélange de gaz : Φ80X120mm
• Dimension : 600(L) x 745(L) x 700(H), mm

Puissance

18W par canal

Tension nominale

AC 208-240V, monophasé, 50/60Hz

Dimensions d'expédition

Total des trois palettes : (#1 : 60" x 45" x 40" ; #2 : 48" x 40" x 42" ; #3 : 48" x 40" x 42")

Poids à l'expédition

850 lbs

Garantie

Garantie limitée d'un an

(Les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander les pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).

Conformité

Certifié CE

Certification NRTL ou CSA moyennant un supplément de prix.

Avertissement

Les fours tubulaires avec tube en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi.

Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.

Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.

Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.