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  • ST11478 Cible de pulvérisation cathodique de carbonate de lithium Li2CO3 Target

    • ST11478 Cible de pulvérisation cathodique de carbonate de lithium Li2CO3 Target

    Catalogue No. ST11478
    Composition Li2CO3
    Forme Ronde, rectangulaire, personnalisée
    Formulaire Cible
    Pureté ≥99%

    Cible de pulvérisation en carbonate de lithium La cible Li2CO3 est produite à partir de carbonate de lithium de haute pureté, avec une densité contrôlée et des défauts minimes pour obtenir des performances de pulvérisation constantes. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des méthodes de caractérisation internes rigoureuses, telles que l'analyse XRD et SEM, pour contrôler l'uniformité de la microstructure et la qualité de la surface. Ce processus d'inspection approfondi minimise les impuretés et garantit la cohérence du traitement pour un dépôt précis de couches minces dans les applications électroniques et céramiques.

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    FAQ

    Comment la pureté de Li2CO3 affecte-t-elle le processus de pulvérisation ?

    Le Li2CO3 de haute pureté minimise les contaminants pendant le dépôt, ce qui permet d'obtenir une épaisseur de film uniforme et des propriétés électriques contrôlées. Ceci est essentiel pour les applications où la constance de la performance du film est critique.

    Quels sont les paramètres opérationnels à surveiller lors de l'utilisation d'une cible de pulvérisation Li2CO3 ?

    Il est important de gérer la puissance de pulvérisation, la pression de la chambre et la température du substrat. Ces paramètres influencent l'adhérence du film, son uniformité et l'efficacité globale du dépôt. Un réglage précis de ces conditions peut améliorer la qualité du film.

    La cible peut-elle être utilisée pour le dépôt de couches minces dans la fabrication de semi-conducteurs ?

    Oui, la cible est appropriée pour le dépôt de couches minces dans les applications de semi-conducteurs. Sa composition et sa structure contrôlées permettent de produire des films aux propriétés électriques et mécaniques reproductibles. Pour des ajustements de processus spécifiques, une consultation technique est conseillée.

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