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Stanford Advanced Materials
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ST11471 Cible planaire en nitrure de tantale, cible TaN

Catalogue No. ST11471
Composition TaN
Forme Rectangulaire
Formulaire Cible
Pureté ≥98%

La cible planaire en nitrure de tantale, ou cible TaN, est une cible de pulvérisation produite par des processus de pulvérisation réactifs contrôlés, garantissant une composition chimique définie. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise la microscopie électronique à balayage en ligne pour contrôler la morphologie de la surface et l'uniformité de la microstructure. Ces mesures permettent de maintenir une stœchiométrie précise pour améliorer les performances de dépôt de couches minces dans des environnements contrôlés.

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FAQ

Quelles sont les considérations essentielles à prendre en compte lors de l'utilisation d'une cible de pulvérisation TaN pour le dépôt de couches minces ?

Lors de l'utilisation d'une cible TaN, il est essentiel de fournir une puissance constante et de refroidir le substrat pour maintenir l'uniformité du film. La surveillance des paramètres du plasma garantit que la stœchiométrie est préservée pendant le dépôt. Les ajustements du flux de gaz réactif aident à gérer l'adhésion du film et à minimiser la contamination.

Comment la conception planaire de la cible TaN améliore-t-elle les performances de pulvérisation ?

La conception planaire favorise une érosion uniforme pendant la pulvérisation, ce qui entraîne une distribution régulière du film déposé. Cette uniformité structurelle minimise l'éjection des particules et réduit les pertes de cibles, améliorant ainsi la reproductibilité des caractéristiques du film mince.

Quelles sont les précautions à prendre lors de l'installation et de la manipulation d'une cible de pulvérisation TaN ?

Il faut veiller à éviter les chocs mécaniques et la contamination des surfaces lors de l'installation. L'utilisation d'outils de manipulation antistatiques et le respect d'un environnement de salle blanche réduiront la contamination particulaire et préserveront l'intégrité de la surface de la cible.

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