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ST11468 Cible planaire en nickel-molybdène, cible NiMo

Catalogue No. ST11468
Composition NiMo
Forme Rectangulaire
Formulaire Cible
Pureté Ni+Mo : ≥99%

La cible planaire en nickel-molybdène, cible NiMo, est fabriquée à partir d'un alliage raffiné de nickel-molybdène avec une géométrie plate, essentielle pour un dépôt contrôlé par pulvérisation cathodique. Stanford Advanced Materials (SAM) met en œuvre une caractérisation ciblée des matériaux, notamment par diffraction des rayons X et microscopie électronique, afin de vérifier l'intégrité de la composition et l'uniformité de la surface. La cible permet de réaliser des applications précises de couches minces en offrant un comportement d'érosion cohérent pendant la pulvérisation.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la composition du NiMo affecte-t-elle les performances de pulvérisation ?

L'alliage NiMo offre des taux d'érosion prévisibles et des profils de dépôt uniformes. Cette uniformité permet d'obtenir une épaisseur de film contrôlée et réduit les problèmes d'empoisonnement des cibles lors des processus de pulvérisation RF et DC.

Quels sont les avantages de la conception planaire dans les processus de dépôt ?

La configuration planaire améliore l'uniformité du plasma sur toute la surface de la cible, ce qui permet de déposer un film uniforme. Cette conception minimise les effets de bord et garantit un profil de revêtement cohérent sur les substrats.

Quelles sont les méthodes de contrôle de la qualité appliquées lors de la production de l'objectif ?

L'assurance qualité comprend la microscopie électronique et l'analyse spectrométrique pour vérifier l'uniformité de la surface et la précision de la composition. Ces méthodes confirment que chaque cible répond à des critères stricts de précision dimensionnelle et d'intégrité de la surface.

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