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Stanford Advanced Materials
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ST11463 Cible planaire aluminium-nickel, cible AlNi

Catalogue No. ST11463
Composition AlNi
Forme Rectangulaire
Formulaire Cible
Pureté Al+Ni : ≥99%

La cible planaire aluminium-nickel, AlNi Target, est une cible de pulvérisation d'aluminium-nickel conçue pour le dépôt de couches minces de précision. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des mesures rigoureuses de la densité et des inspections optiques de la surface pendant la production pour contrôler l'homogénéité et la planéité. Le processus de fabrication comprend des étapes d'alliage et d'usinage contrôlées qui contribuent à maintenir des propriétés matérielles cohérentes pour les applications de pulvérisation dans la fabrication de semi-conducteurs et les domaines connexes.

ENQUÊTE
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Description
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FAQ

Quel est l'impact de la composition aluminium-nickel sur le dépôt du film ?

La composition d'AlNi fournit un environnement thermique et électrique équilibré pendant la pulvérisation. Elle permet d'obtenir une épaisseur de film uniforme et de minimiser les écarts dans les taux de dépôt dans des conditions de traitement typiques. Pour des ajustements de processus spécifiques, il peut être nécessaire de modifier les paramètres de pulvérisation.

Comment la conception planaire affecte-t-elle les performances des cibles dans les systèmes de pulvérisation ?

La conception planaire permet une érosion uniforme pendant la pulvérisation, ce qui garantit un enlèvement de matière constant sur toute la surface de la cible. Cette uniformité contribue à un dépôt régulier du film sur les substrats et à des paramètres de processus stables sur des séries de production prolongées.

Quelles sont les pratiques de manipulation recommandées lors de l'installation de la cible AlNi ?

La manipulation doit se faire dans un environnement propre et avec des gants antistatiques. Éviter les chocs mécaniques pendant l'installation afin de prévenir la déformation de la surface. Pour plus d'informations sur la réduction de la contamination et le maintien de l'intégrité de la cible, contactez-nous pour obtenir des recommandations détaillées.

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