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Stanford Advanced Materials
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ST11457 Cible planaire nickel chrome fer, cible NiCrFe

Catalogue No. ST11457
Composition NiCrFe
Forme Rectangulaire
Formulaire Cible
Pureté Ni+Cr+Fe : ≥99%

La cible planaire en nickel chrome fer (NiCrFe) est fabriquée à partir d'un alliage NiCrFe conçu pour les procédés de dépôt par pulvérisation cathodique. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise une inspection systématique par microscopie électronique et une analyse quantitative de la surface pendant la production pour vérifier l'uniformité de l'alliage et la morphologie de la surface. L'approche de SAM minimise la contamination et les incohérences matérielles, garantissant que la cible répond à des critères de performance stricts pour les applications de dépôt dans une gamme d'environnements de traitement.

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FAQ

Comment la composition du NiCrFe influence-t-elle le processus de dépôt par pulvérisation cathodique ?

La composition NiCrFe améliore le processus de pulvérisation en offrant des taux d'érosion équilibrés et des interactions plasma contrôlées. Cette constance favorise le dépôt uniforme de couches minces et permet d'obtenir une épaisseur de revêtement prévisible, ce qui est important pour les applications dans la fabrication de semi-conducteurs et les dispositifs optiques.

Quels sont les facteurs opérationnels à prendre en compte lors de l'utilisation de cibles planaires dans les systèmes de pulvérisation ?

Les facteurs clés sont l'uniformité du plasma, le refroidissement de la cible et les mécanismes de rotation qui assurent un bombardement ionique uniforme. Ces facteurs favorisent des taux de dépôt constants et l'uniformité du film. L'inspection et l'étalonnage réguliers du système de pulvérisation contribuent également à maintenir le contrôle du processus.

Quelles sont les pratiques de stockage et de manipulation recommandées pour les cibles de pulvérisation ?

Les cibles doivent être stockées à l'abri de l'humidité et dans un environnement à température contrôlée. Un emballage protecteur antistatique minimise les dommages physiques et la contamination. Les procédures de manipulation qui réduisent l'exposition à la poussière et aux particules permettent de préserver l'intégrité de la surface de pulvérisation.

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