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Stanford Advanced Materials
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ST11214 Cible planaire en tantale, cible Ta

Catalogue No. ST11214
Composition Ta
Pureté ≥99,95 %, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire en tantale, cible Ta, est une cible de pulvérisation fabriquée à partir de tantale de haute pureté pour les processus de dépôt de couches minces. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise un moulage automatisé et un nettoyage ultrasonique de précision associés à des inspections par microscopie électronique pour le contrôle de la qualité. Le processus de SAM minimise les défauts microstructuraux tout en garantissant une composition uniforme, ce qui permet un dépôt efficace dans les systèmes industriels de pulvérisation.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la pureté du tantale affecte-t-elle l'uniformité de la pulvérisation ?

Une pureté élevée réduit les niveaux d'inclusion, ce qui minimise la génération de particules pendant la pulvérisation. Cette constance dans la composition de la cible permet d'assurer un dépôt uniforme de couches minces sur les substrats. Contactez-nous pour plus de détails techniques.

Quelles sont les mesures de contrôle de la qualité appliquées pour détecter les défauts de microstructure ?

SAM utilise des techniques de microscopie électronique et d'inspection par ultrasons pour identifier les irrégularités de la microstructure. Ces mesures facilitent la détection précoce des défauts et garantissent que l'intégrité de la surface de la cible répond aux exigences rigoureuses des applications de pulvérisation.

Est-il possible de personnaliser les dimensions de la cible pour des systèmes de pulvérisation spécifiques ?

Oui, les dimensions et les spécifications connexes sont personnalisables pour s'adapter aux différents modèles de systèmes de pulvérisation. Cette flexibilité permet une utilisation optimale de la cible et un ajustement du processus dans la fabrication de semi-conducteurs et d'autres applications de dépôt de couches minces.

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