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Stanford Advanced Materials
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ST11209 Cible de pulvérisation de silicium, cible Si

Catalogue No. ST11209
Composition Si
Pureté ≥99,99%, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Ronde, rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible de pulvérisation de silicium, Si Target, est une cible métallique de silicium produite pour le dépôt physique en phase vapeur. Stanford Advanced Materials (SAM) applique des pratiques établies de dépôt chimique en phase vapeur et de microscopie électronique interne pour contrôler l'uniformité de la surface pendant la production. Le processus de SAM comprend une inspection quantitative des défauts et des mesures de densité calibrées afin de maintenir les spécifications des matériaux critiques pour le dépôt de couches minces. Cette cible est produite en prêtant attention à la composition mesurée et à la précision des dimensions.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la fonction de dimensions personnalisées affecte-t-elle l'uniformité du dépôt de film dans les applications de pulvérisation cathodique ?

Les dimensions personnalisées permettent l'intégration dans des configurations d'équipement qui exigent des tailles de cible spécifiques, ce qui peut améliorer l'uniformité du dépôt de couches minces. L'adaptation aux exigences du processus minimise les effets de bord et favorise une croissance régulière du film. Contactez-nous pour obtenir des conseils détaillés sur l'intégration.

Quelles sont les spécifications de pureté des matériaux généralement observées dans les cibles de pulvérisation de silicium ?

Le silicium de haute pureté est utilisé pour réduire les variations induites par les contaminants dans les films déposés. Le processus de production comprend des essais quantitatifs et des inspections de surface pour vérifier que le silicium répond aux niveaux de pureté contrôlés essentiels pour les processus semi-conducteurs.

La cible de silicium peut-elle être adaptée aux différentes exigences des systèmes de pulvérisation ?

Oui, il est possible de personnaliser les dimensions. Cela permet à la cible de s'adapter à différentes géométries de chambre et à différents systèmes de dépôt. L'ajustement de la taille de la cible permet d'optimiser l'efficacité de la pulvérisation et l'uniformité du film sur différentes installations de production.

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