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Stanford Advanced Materials
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ST11208 Cible planaire en silicium, cible Si

Catalogue No. ST11208
Composition Si
Pureté ≥99,99%, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire en silicium, Si Target, est une cible de pulvérisation fabriquée en silicium avec une finition de surface planaire précise. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des processus de fabrication contrôlés, y compris la métrologie en ligne et l'inspection de la surface pour contrôler la planéité et les niveaux d'impureté. Cette approche permet de minimiser les défauts et de garantir l'uniformité des propriétés des matériaux, essentielle pour les processus de dépôt. Le produit bénéficie de protocoles d'essai par lots détaillés qui vérifient l'exactitude des dimensions avant l'expédition.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment l'état de surface planaire de la cible de silicium affecte-t-il les performances de la pulvérisation ?

L'état de surface planaire garantit une vitesse de dépôt constante sur le substrat, ce qui minimise les variations d'épaisseur du film. L'uniformité de la pulvérisation contribue directement à améliorer la reproductibilité des propriétés des films minces.

Quelles sont les procédures de manipulation recommandées pour éviter la contamination de la cible en silicium ?

Utiliser les protocoles de salle blanche appropriés, y compris la manipulation antistatique et l'utilisation de gants. Il est essentiel de minimiser l'exposition aux particules en suspension dans l'air et à l'humidité afin de préserver l'intégrité de la surface de la cible et les performances optimales de la pulvérisation.

Dans quelle mesure la personnalisation des dimensions cibles influence-t-elle l'intégration des processus ?

La personnalisation des dimensions permet à la cible de se conformer aux exigences spécifiques des systèmes de pulvérisation, assurant ainsi la compatibilité avec les chambres de dépôt. Cette adaptabilité facilite une intégration plus efficace du processus et maximise l'uniformité du film. Contactez-nous pour plus d'informations.

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