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Stanford Advanced Materials
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ST11207 Cible Titanate de Zirconate de Plomb, Cible PZT

Catalogue No. ST11207
Composition Titanate de zirconate de plomb
Pureté ≥99,99%, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Ronde, rectangulaire, etc.
Dimensions Sur mesure

La cible en titanate de zirconate de plomb, ou cible PZT, est une cible de pulvérisation composée de céramiques Pb(Zr,Ti)O₃, conçue pour le dépôt de films minces dans les processus industriels. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise l'analyse quantitative par diffraction des rayons X et la profilométrie de surface pour évaluer l'uniformité du matériau et l'intégrité des phases. L'approche méthodique de SAM confirme que chaque cible répond à des critères stricts de composition et de microstructure pour les applications de pulvérisation avancées.

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FAQ

Comment la dimension personnalisée affecte-t-elle l'uniformité du dépôt pendant la pulvérisation ?

Une dimension personnalisée permet d'optimiser la distance cible-substrat et la distribution uniforme du plasma, ce qui facilite le dépôt d'un film uniforme. L'ajustement des dimensions permet d'équilibrer les taux de dépôt et d'atténuer les effets de bord. Contactez-nous pour obtenir des détails sur l'intégration dans des systèmes de pulvérisation spécifiques.

Quels sont les contrôles de processus utilisés pour maintenir l'intégrité microstructurale de la cible PZT ?

Les mesures de contrôle détaillées comprennent la diffraction des rayons X et la profilométrie de surface. Ces techniques contrôlent la distribution des phases et l'état de surface, garantissant que la cible conserve une microstructure cohérente au cours de la production, pour des caractéristiques de film stables.

Comment gérer les aspects thermiques en tenant compte du point de fusion pendant le dépôt par pulvérisation cathodique ?

Bien que le point de fusion spécifique ne soit pas indiqué, la gestion thermique est essentielle. Elle implique le maintien d'une température contrôlée du substrat et l'incorporation de mécanismes de refroidissement pour éviter une surchauffe localisée pendant le dépôt. Contactez-nous pour obtenir des recommandations détaillées sur la gestion thermique.

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