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Stanford Advanced Materials
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ST11199 Cible planaire de pentoxyde de niobium, cible Nb2O5

Catalogue No. ST11199
Composition Nb2O5
Pureté ≥99,95 %, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire de pentoxyde de niobium, Nb2O5, est produite à l'aide de méthodes de synthèse contrôlées afin d'obtenir une surface planaire uniforme pour les applications de pulvérisation. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des techniques d'inspection avancées, notamment l'analyse MEB, au cours du processus de fabrication pour vérifier l'homogénéité et la composition de la surface. La cible est fabriquée dans le cadre d'un contrôle rigoureux des processus, ce qui garantit la cohérence de la distribution des matériaux et l'intégrité structurelle pour les processus exigeants de dépôt de couches minces.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Quelles sont les considérations importantes à prendre en compte lors de l'utilisation de cibles de pentoxyde de niobium ?

Lors de l'utilisation de cibles de Nb2O5, il est essentiel de maintenir un plasma d'Ar stable et de surveiller les taux de dépôt. Il peut être nécessaire d'ajuster les réglages de puissance pour s'adapter à la configuration planaire de la cible, afin d'assurer un dépôt uniforme de couches minces sans induire de microfissures.

Comment la pureté du matériau affecte-t-elle les performances des cibles de pulvérisation de pentoxyde de niobium ?

La grande pureté du matériau minimise la contamination particulaire et garantit des propriétés de film constantes pendant le dépôt. Le contrôle précis de la composition chimique permet d'améliorer l'uniformité et l'adhérence du film, ce qui est essentiel pour les applications nécessitant des spécifications de processus strictes.

Existe-t-il des étapes de prétraitement spécifiques recommandées pour les cibles de pentoxyde de niobium avant la pulvérisation ?

Le prétraitement peut comprendre un nettoyage et un séchage en douceur pour éliminer les contaminants de la surface. Ces procédures permettent d'obtenir une adhérence optimale et d'éviter la formation d'arcs pendant la pulvérisation. Pour des directives détaillées, consultez la documentation technique fournie avec la cible.

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