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Stanford Advanced Materials
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ST11195 Cible planaire en carbure de molybdène, cible Mo2C

Catalogue No. ST11195
Composition Mo2C
Pureté ≥99,9%, ou personnalisé
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire en carbure de molybdène, cible Mo2C, est une cible de pulvérisation conçue à partir de carbure de molybdène (Mo2C) pour les applications de dépôt de couches minces. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise la métallurgie des poudres contrôlée et l'inspection post-frittage par MEB et XRD pour contrôler l'uniformité de la microstructure et la composition. Cette approche minimise les écarts dans les propriétés cibles, ce qui permet d'obtenir des processus de dépôt de film cohérents.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la structure planaire uniforme de la cible Mo2C affecte-t-elle le dépôt du film ?

La structure planaire minimise les variations locales d'épaisseur pendant la pulvérisation. Cette uniformité permet d'obtenir des propriétés de film cohérentes sur l'ensemble du substrat, réduisant ainsi les écarts de processus et améliorant la répétabilité lors de la formation de films minces.

Quelles sont les mesures de contrôle de la qualité mises en œuvre pour cet objectif ?

SAM utilise les techniques SEM et XRD pour vérifier la cohérence de la microstructure et la composition chimique. Ces mesures garantissent que la cible respecte des tolérances de composition spécifiques, ce qui est essentiel pour obtenir des processus de pulvérisation répétables.

La cible peut-elle être adaptée à des systèmes de pulvérisation spécifiques ?

Oui, les dimensions de la cible sont disponibles dans des configurations personnalisées. Cette flexibilité permet aux utilisateurs finaux d'adapter la cible aux dimensions spécifiques de la chambre de pulvérisation et aux exigences opérationnelles, en supportant une large gamme d'applications de dépôt. Contactez-nous pour plus de détails sur la configuration.

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