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Stanford Advanced Materials
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ST11193 Cible rotative indium-étain, cible InSn

Catalogue No. ST11193
Composition In, Sn
Pureté ≥99,99%, ou sur mesure
Formulaire Cible
Forme Tubulaire
Dimensions Sur mesure

La cible rotative indium-étain, cible InSn, est une cible de pulvérisation composée d'un alliage indium-étain, conçue pour les processus de dépôt dans la fabrication de semi-conducteurs et d'écrans plats. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise un mélange d'alliages avancé et une analyse de surface utilisant la fluorescence des rayons X et la profilométrie pour réduire la variance des matériaux. Un contrôle rigoureux de la qualité par le biais d'essais par lots et d'un contrôle statistique des processus garantit que la composition cible et l'uniformité de la surface répondent aux spécifications précises du processus.

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Description
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FAQ

Quels sont les ajustements à apporter au processus lors du passage à une cible de pulvérisation InSn ?

Les ajustements du processus peuvent inclure le recalibrage de la puissance de dépôt et des débits de gaz pour s'adapter aux différents rendements de pulvérisation et aux caractéristiques thermiques. Les opérateurs doivent évaluer l'uniformité et l'adhérence à l'aide de systèmes de contrôle in situ. Contactez-nous pour obtenir des directives détaillées.

Comment la conception rotative de la cible améliore-t-elle l'uniformité du dépôt ?

Le mécanisme rotatif favorise une érosion uniforme sur la surface cible, ce qui permet d'obtenir une épaisseur de film constante sur le substrat. La rotation continue minimise la surchauffe localisée. Il est conseillé aux utilisateurs d'intégrer cette conception à l'optimisation des paramètres du processus standard.

Les tolérances de composition de la cible peuvent-elles affecter les propriétés du film pendant la pulvérisation ?

Oui, de légers écarts dans la composition de l'alliage peuvent influencer la conductivité du film, la transparence optique et les contraintes mécaniques. Il est essentiel de contrôler la composition à l'aide de techniques de caractérisation des matériaux afin de maintenir la reproductibilité du processus. Contactez-nous pour plus de détails techniques.

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