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Stanford Advanced Materials
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ST11178 Cible rotative en fer, cobalt et bore, cible CoFeB

Catalogue No. ST11178
Composition CoFeB
Pureté ≥99,9%, ou personnalisé
Formulaire Cible
Forme Tubulaire
Dimensions Sur mesure

La cible rotative en fer, cobalt et bore (CoFeB) est fabriquée à partir d'une composition d'alliage contrôlée afin de garantir des caractéristiques de pulvérisation uniformes. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise une fusion à l'arc sous vide spécialisée, suivie d'analyses SEM et EDS rigoureuses pour vérifier l'homogénéité du matériau. Le produit est traité dans des conditions métallurgiques strictes afin de réduire les incohérences microstructurelles qui peuvent avoir un impact sur l'uniformité du film dans les processus de pulvérisation à basse pression.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
Avis

FAQ

Quels sont les facteurs qui influencent le comportement de pulvérisation de la cible CoFeB lors de la déposition d'un film mince ?

Le comportement de la pulvérisation est influencé par l'homogénéité de l'alliage, la densité de la cible et les caractéristiques de la microstructure. Les variations de ces paramètres peuvent affecter la vitesse de dépôt et l'uniformité du film. Un contrôle de qualité détaillé à l'aide du MEB peut aider à vérifier les caractéristiques des matériaux nécessaires pour optimiser les performances.

Comment la conception rotative de la cible améliore-t-elle ses performances dans les processus de pulvérisation ?

La conception rotative permet une érosion uniforme sur toute la surface de la cible, ce qui réduit les surchauffes localisées et maintient une distribution uniforme du matériau. Cela favorise des caractéristiques de dépôt cohérentes, ce qui est particulièrement important pour les applications qui exigent des revêtements uniformes sur de grands substrats.

Quelles sont les pratiques d'entretien recommandées pour prolonger la durée de vie des cibles de pulvérisation CoFeB ?

Il est nécessaire d'inspecter régulièrement l'usure de la surface, de maintenir un refroidissement adéquat pendant la pulvérisation et de respecter des conditions de stockage contrôlées. Ces pratiques permettent d'éviter la contamination et la dégradation physique, prolongeant ainsi la durée de vie opérationnelle de la cible. Pour plus d'informations, contactez-nous.

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