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Stanford Advanced Materials
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ST11172 Cible planaire aluminium-zinc-indium-silicium, cible AlZnInSi

Catalogue No. ST11172
Composition Al, Zn, In, Si
Pureté ≥90%
Formulaire Cible
Forme Rectangulaire
Dimensions Sur mesure

La cible planaire aluminium-zinc-indium-silicium, AlZnInSi Target, est produite à l'aide d'un processus d'alliage contrôlé qui garantit une composition multi-élémentaire cohérente pour les applications de pulvérisation. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise une analyse élémentaire systématique et une inspection de la morphologie de la surface par microscopie électronique pour vérifier l'uniformité de la composition. Ce produit est fabriqué avec des contrôles de processus rigoureux afin de maintenir des rapports d'alliage précis, répondant ainsi aux exigences des systèmes avancés de dépôt de couches minces.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Quels sont les paramètres du système de pulvérisation à prendre en compte lors de l'utilisation de la cible AlZnInSi ?

La cible nécessite un réglage de la densité de puissance et de la pression de travail afin d'optimiser la vitesse de dépôt. Les opérateurs doivent calibrer leurs systèmes de pulvérisation pour qu'ils correspondent aux dimensions personnalisées de la cible, afin de garantir une croissance uniforme du film et une distribution contrôlée des éléments.

Comment la composition multiélémentaire affecte-t-elle l'uniformité du dépôt ?

Les éléments d'alliage intégrés permettent un rendement de pulvérisation équilibré sur toute la surface de la cible. Cette composition minimise les variations localisées lors du dépôt du film, garantissant une épaisseur et une composition de couche constantes, ce qui est essentiel pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.

Existe-t-il des protocoles de nettoyage spécifiques recommandés pour l'entretien de la surface cible ?

Un nettoyage régulier à l'aide de solvants non abrasifs et un contrôle strict des particules sont conseillés. Une manipulation correcte minimise la contamination de la surface et préserve l'intégrité planaire de la cible, ce qui permet de maintenir les performances dans les applications de pulvérisation de haute précision.

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