SI11491 Réservoir de nettoyage en quartz fondu avec panier à plaquettes

Cuve de nettoyage en quartz fondu avec panier à plaquettes Description

Le réservoir de nettoyage en quartz fondu avec panier pour plaquettes utilise du quartz fondu de haute pureté, essentiellement SiO₂, apprécié pour son inertie chimique et sa faible dilatation thermique. Cette conception permet de nettoyer les plaquettes sensibles à la contamination en logeant solidement un panier usiné avec précision, ce qui permet de maintenir l'intégrité du substrat pendant les processus de nettoyage agressifs. Les propriétés du matériau contribuent directement à réduire les taux de défauts dans la fabrication des semi-conducteurs.

Les paniers de nettoyage de plaquettes en verre de quartz sont des conteneurs ou des réservoirs perforés fabriqués à partir de verre de quartz de haute pureté présentant une structure en treillis spécifique. Ils sont conçus pour contenir en toute sécurité plusieurs plaquettes de silicium pendant les processus de nettoyage à haute température impliquant des solutions chimiques hautement corrosives, telles que l'acide fluorhydrique (HF), l'eau régale, SC-1, SC-2, ou de l'eau déionisée à haute température.

La structure optimisée garantit une exposition totale et un flux uniforme des produits chimiques de nettoyage autour de chaque plaquette, ce qui permet d'obtenir des performances de nettoyage cohérentes, complètes et fiables tout en conservant une excellente stabilité thermique et chimique.

Réservoir de nettoyage en quartz fondu avec panier à plaquettes Caractéristiques

*Les informations ci-dessus sont basées sur des données théoriques et ne sont données qu'à titre indicatif. Les spécifications réelles peuvent varier.

Réservoir de nettoyage en quartz fondu avec panier à plaquettes Applications

1.électronique - traitement des semi-conducteurs
- Utilisé comme composant de nettoyage dans les systèmes de traitement des plaquettes pour obtenir une contamination particulaire minimale en tirant parti de l'inertie chimique du quartz fondu.
- Appliqué comme module de nettoyage intégral pour maintenir la qualité du substrat pendant les traitements chimiques agressifs.

2.équipement de laboratoire
- Sert de chambre de nettoyage contrôlée dans les environnements de recherche où la pureté des matériaux est essentielle pour éviter la contamination.
- Fréquemment utilisé pour les processus de nettoyage chimique où la nature non réactive du quartz fondu préserve l'intégrité de l'échantillon.

Réservoir de nettoyage en quartz fondu avec garniture de panier à plaquettes

La cuve de nettoyage en quartz fondu avec panier à plaquettes est emballée en toute sécurité dans une caisse conçue sur mesure avec un rembourrage antistatique et un film inerte résistant à l'humidité. Le système d'emballage comprend des inserts en mousse de protection pour atténuer les chocs mécaniques et les contraintes thermiques pendant le transport et le stockage. Les instructions de stockage en environnement contrôlé préservent l'intégrité du matériau. Des options d'étiquetage et de calage personnalisées sont disponibles pour répondre aux exigences spécifiques de manipulation en laboratoire.

Informations complémentaires

Le quartz fondu, composé principalement de dioxyde de silicium (SiO₂), présente une inertie chimique et une stabilité thermique exceptionnelles, ce qui en fait un matériau de choix pour le nettoyage de précision et le traitement des semi-conducteurs. Son faible coefficient de dilatation thermique contribue à améliorer la stabilité des processus dans les environnements soumis à de fréquentes fluctuations de température.

Dans la fabrication des semi-conducteurs et dans les laboratoires, il est essentiel de maintenir des contrôles de contamination rigoureux. Les propriétés du quartz fondu, associées à des pratiques d'ingénierie de précision, permettent de réaliser des applications de nettoyage critiques dans lesquelles une interférence particulaire, même minime, peut compromettre les performances du produit.