SC9939 Support de galette en carbure de silicium

Description du support de galette en carbure de silicium

Le support de wafer boat en carbure de silicium est fabriqué à partir de SiC de haute pureté et d'un facteur de forme personnalisable pour répondre aux spécifications de traitement exactes. Le matériau céramique offre une stabilité thermique jusqu'à 1300 ℃, ce qui permet de l'utiliser dans les fours à haute température. Avec une densité d'environ 3,0 g/cm³, le support conserve son intégrité structurelle, réduisant la contamination particulaire et favorisant la manipulation contrôlée des wafers dans les environnements de fabrication de semi-conducteurs.

Applications des porte-gaufrettes en carbure de silicium

Fabrication de produits électroniques et de semi-conducteurs
- Utilisé comme composant de maintien des plaquettes pendant le recuit thermique pour obtenir une exposition contrôlée à la chaleur en tirant parti de la résilience à haute température du carbure de silicium.
- Utilisé comme fixation dans les systèmes de traitement pour minimiser les risques de contamination grâce à sa surface chimiquement inerte.

Traitement industriel
- Sert de structure de support dans les modules de frittage à haute température pour assurer la stabilité dimensionnelle en utilisant sa densité contrôlée et sa conception personnalisée.

Emballage du support de plaquette en carbure de silicium

Le support de galette en carbure de silicium est emballé dans des conteneurs antistatiques et résistants à l'humidité, avec un rembourrage en mousse pour atténuer les chocs mécaniques. Chaque unité est scellée pour éviter toute contamination particulaire. Un étiquetage clair et un stockage compartimenté garantissent une manipulation correcte. La conception de l'emballage permet des modifications personnalisées pour répondre aux exigences spécifiques de transport et de stockage dans des environnements contrôlés et à température régulée.

Questions fréquemment posées

Q1 : Quelles sont les mesures mises en œuvre pour maintenir la stabilité dimensionnelle du support pendant le traitement à haute température ?
R1 : Le processus de personnalisation utilise un frittage précis associé à un profilage thermique pour réduire les déformations. Ces techniques permettent de maintenir la précision dimensionnelle à des températures allant jusqu'à 1300 ℃, ce qui garantit des performances de fixation constantes.

Q2 : Comment la densité d'environ 3,0 g/cm³ contribue-t-elle à la fonctionnalité du support dans l'équipement de traitement des plaquettes ?
R2 : La densité fournit le support structurel nécessaire et minimise les vibrations pendant les opérations à haute température. Cette robustesse permet de maintenir le positionnement des plaquettes et de réduire le risque de perturbations mécaniques pendant les étapes sensibles du traitement.

Q3 : Est-il possible de personnaliser les dimensions du porte-gaufrettes en carbure de silicium pour l'adapter à un équipement spécifique ?
R3 : Oui, le produit est disponible sous une forme personnalisable. Les clients peuvent spécifier les dimensions afin d'assurer la compatibilité avec des configurations de fours et de processus spécifiques.

Informations complémentaires

Le carbure de silicium est un matériau céramique largement étudié pour sa stabilité à haute température et son inertie chimique, ce qui le rend adapté aux environnements de traitement critiques. Les progrès réalisés dans le domaine du frittage et du traitement des matériaux ont permis d'améliorer son uniformité et de réduire la densité des défauts, ce qui est essentiel dans les applications qui exigent un contrôle rigoureux des performances des matériaux.

Les recherches en cours sur les matériaux céramiques continuent d'affiner les méthodes de fabrication, en mettant l'accent sur le contrôle de la microstructure et les performances thermiques. Ces progrès améliorent non seulement la fiabilité des composants SiC dans la fabrication des semi-conducteurs, mais élargissent également leur potentiel dans diverses applications industrielles où les hautes températures et le contrôle de la contamination sont primordiaux.