SC9938 Reaction Bonded Silicon Carbide Wafer Boat (Bateau de plaquettes de carbure de silicium liées par réaction)

Description des plaquettes de carbure de silicium liées par réaction

Les plaquettes de carbure de silicium liées par réaction sont fabriquées à l'aide d'un processus de liaison par réaction contrôlé qui améliore l'intégrité microstructurale du carbure de silicium. Avec une pureté matérielle de ≥92% et une densité d'environ 3,0 g/cm³, le produit fonctionne de manière cohérente dans des environnements à haute température jusqu'à 1300℃. Son facteur de forme de bateau facilite la manipulation sécurisée des plaquettes pendant le traitement thermique, tandis que les dimensions personnalisables assurent la compatibilité avec des configurations d'équipement variées.

Applications de la barquette de plaquettes en carbure de silicium lié par réaction

1.fabrication de semi-conducteurs
- Utilisé comme support dans le traitement au four pour obtenir une exposition thermique uniforme en tirant parti de la structure liée par réaction.

2)Traitement des céramiques
- Utilisé comme porte-échantillon dans les traitements à haute température pour promouvoir la stabilité dimensionnelle et un cycle thermique efficace grâce à sa densité contrôlée.

Emballage de plaquettes de carbure de silicium lié par réaction (Reaction Bonded Wafer Boat Packing)

Les plaquettes de carbure de silicium liées par réaction sont emballées en toute sécurité dans des matériaux antistatiques résistants à la contamination et dans des conteneurs matelassés pour éviter les dommages mécaniques. Les unités sont scellées avec un emballage anti-humidité et stockées dans un environnement sec à température contrôlée. Des options d'emballage personnalisées, y compris l'étiquetage sur mesure et la compartimentation, sont disponibles sur demande pour améliorer la manipulation et le stockage.

Questions fréquemment posées

Q1 : Comment le processus de collage par réaction contribue-t-il à la stabilité dimensionnelle du bateau de plaquettes dans les opérations à haute température ?
R1 : La technique de collage par réaction contrôlée garantit une distribution uniforme des phases dans le SiC, ce qui permet de maintenir une densité et une précision dimensionnelle constantes pendant les cycles thermiques. Cette stabilité est vitale pour la manipulation des wafers dans le traitement des semi-conducteurs.

Q2 : Quelles sont les mesures prises pour vérifier la pureté du matériau et la densité du bateau de la plaquette ?
R2 : Le processus de fabrication comprend des inspections microscopiques systématiques et des mesures de densité pour confirmer que le matériau atteint une pureté minimale de 92 % et une densité proche de 3,0 g/cm³, ce qui garantit des performances dans des conditions de haute température.

Q3 : Les dimensions du bateau à gaufrettes peuvent-elles être adaptées à un équipement de traitement spécifique ?
R3 : Oui, les dimensions sont entièrement personnalisables pour s'adapter à diverses configurations de traitement, ce qui garantit la compatibilité avec différents équipements à haute température tout en préservant les performances structurelles.

Informations complémentaires

Les céramiques de carbure de silicium sont appréciées pour leur grande stabilité thermique et leur résistance aux chocs thermiques, ce qui les rend adaptées aux applications industrielles exigeantes. Le collage par réaction est un processus spécialisé qui améliore la microstructure et les performances du matériau à des températures élevées en contrôlant le développement et la densité des phases.

Les progrès réalisés dans les techniques de traitement des céramiques continuent d'améliorer les matériaux à liaison réactive, ce qui favorise les innovations dans le domaine des semi-conducteurs et des équipements de traitement à haute température. Les recherches en cours se concentrent sur l'optimisation des conditions de frittage et la minimisation des défauts afin d'étendre les capacités opérationnelles des composants SiC dans diverses applications industrielles.