SC9935 Bateau à plaquettes en carbure de silicium

Description de la barquette en carbure de silicium

Le carbure de silicium (SiC) Wafer Boat est conçu comme support céramique pour le traitement des semi-conducteurs. Sa composition, d'une pureté ≥99% et d'une densité de ~2,7 g/cm³, garantit des propriétés thermiques et mécaniques stables pendant les opérations à haute température. Les dimensions personnalisables permettent l'intégration dans diverses configurations de traitement, minimisant les gradients thermiques et les risques de contamination. Cette conception permet un contrôle précis de la température et préserve l'intégrité des environnements sensibles de traitement des plaquettes.

Applications du bateau à plaquettes en carbure de silicium

1.traitement des semi-conducteurs
- Utilisé comme support de plaquettes dans les fours à haute température pour minimiser la contamination en tirant parti de son inertie chimique.
- Appliqué pendant les processus de croissance épitaxiale pour maintenir une distribution thermique uniforme en utilisant sa densité contrôlée.

2)Applications céramiques industrielles
- Sert de composant structurel dans les systèmes de traitement des matériaux avancés pour contrôler la dilatation thermique grâce au SiC de haute pureté.
- Fréquemment utilisé dans les fours de laboratoire où la conception personnalisable permet une distribution uniforme de la chaleur et la répétabilité du processus.

Emballage des plaquettes de carbure de silicium

Les plaquettes de carbure de silicium sont emballées dans des sacs antistatiques et anti-humidité, ainsi que dans des boîtes rigides et rembourrées afin d'atténuer les impacts mécaniques et les risques de contamination. Il est stocké dans des conditions de température contrôlée afin de préserver son intégrité céramique. La conception de l'emballage intègre des mesures anti-poussière strictes, et des options d'étiquetage et de compartimentage personnalisées sont disponibles pour répondre à des exigences de manipulation spécifiques.

Questions fréquemment posées

Q1 : Comment la composition du SiC de haute pureté influe-t-elle sur les performances lors du traitement à haute température ?
R1 : Le SiC de haute pureté minimise la présence d'impuretés, ce qui réduit la formation de défauts pendant les cycles prolongés à haute température et garantit un comportement thermique cohérent. Ce contrôle des impuretés est essentiel pour maintenir l'uniformité du processus et réduire les risques de contamination dans le traitement des plaquettes.

Q2 : Quelles sont les options de personnalisation disponibles pour les dimensions des wafers ?
R2 : Les dimensions peuvent être adaptées à différentes configurations de fours et à différentes tailles de plaquettes. Les ajustements de la géométrie permettent d'optimiser les gradients thermiques et d'assurer la compatibilité avec des équipements de traitement spécifiques, ce qui permet une intégration précise dans les flux de travail existants.

Q3 : Comment le processus d'assurance qualité est-il mis en œuvre pendant la fabrication ?
R3 : L'assurance qualité implique des processus de frittage contrôlés et une inspection optique pour surveiller à la fois la densité et la cohérence de la composition. Ces inspections permettent de vérifier que chaque bateau de plaquettes répond aux spécifications techniques définies requises pour les applications de semi-conducteurs à haute température.

Informations complémentaires

Le carbure de silicium est largement utilisé dans les applications à haute température et dans les environnements difficiles en raison de son excellente conductivité thermique et de son inertie chimique. Sa robustesse dans des conditions extrêmes en fait un choix privilégié pour les composants qui doivent résister aux chocs thermiques et à la dégradation.

Les progrès des techniques de frittage et de l'ingénierie des matériaux continuent d'améliorer les propriétés du SiC, élargissant ainsi son utilité dans le traitement des semi-conducteurs et les applications industrielles. L'intégration de contrôles de fabrication précis améliore à la fois la précision dimensionnelle et la stabilité des performances, répondant ainsi aux exigences des environnements modernes de traitement à haute température.