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Stanford Advanced Materials
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CY11158 Verre revêtu de nitrure de titane (TiN)

Catalogue No. CY11158
Matériau TiN, verre borosilicaté
Pureté TiN : ≥99,995 %
Formulaire Substrat

Le verre revêtu de nitrure de titane (TiN) est produit en déposant un film de TiN sur un substrat de verre de haute pureté par dépôt physique en phase vapeur contrôlé. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des mesures rigoureuses de l'épaisseur et de l'uniformité du film en recourant à la microscopie à force atomique et à l'inspection optique. Cette approche minimise les irrégularités de surface et garantit l'intégrité quantifiable du film pour les applications de matières premières semi-conductrices, ajoutant une cohérence technique au processus de production.

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Description
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FAQ

Quels sont les paramètres critiques à contrôler pendant le processus de dépôt de TiN sur des substrats en verre ?

Les paramètres clés sont la vitesse de dépôt, la pression de la chambre et la température du substrat. Un contrôle minutieux de ces facteurs garantit une épaisseur de film uniforme et minimise les défauts susceptibles d'affecter les propriétés optiques et conductrices requises dans les applications de semi-conducteurs.

Comment le revêtement TiN influence-t-il la stabilité thermique du substrat en verre ?

Le film TiN améliore la résistance thermique en agissant comme une barrière contre la chaleur et les contaminants environnementaux. Cela minimise les écarts de dilatation thermique entre les couches, ce qui garantit la stabilité lors des étapes de traitement à haute température, courantes dans la fabrication des semi-conducteurs.

Quelles sont les techniques d'inspection recommandées pour vérifier l'intégrité du revêtement TiN ?

Des techniques telles que la microscopie à force atomique, l'ellipsométrie et l'inspection optique sont efficaces pour évaluer l'uniformité et l'épaisseur du film. Ces mesures permettent de confirmer que le revêtement répond aux critères techniques précis nécessaires pour les applications de matières premières semi-conductrices. Contactez-nous pour plus d'informations.

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