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Stanford Advanced Materials
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CY11153 Plaque de silicium recouverte de palladium (Pd)

Catalogue No. CY11153
Matériau Palladium, Silicium
Pureté Pd : ≥99,95%
Formulaire Substrat

La plaquette de silicium revêtue de palladium (Pd) est conçue avec une fine couche de palladium déposée par pulvérisation cathodique sur un substrat de silicium afin de relever des défis spécifiques dans les processus de semi-conducteurs. Stanford Advanced Materials (SAM) utilise des techniques de dépôt précises et des inspections en ligne de la qualité de la surface à l'aide d'outils de métrologie avancés. Cette approche minimise les défauts de surface et assure l'uniformité, fournissant une interface efficace pour les étapes de traitement ultérieures tout en maintenant des contrôles de processus stricts.

ENQUÊTE
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Description
Spécifications
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FAQ

Comment la couche de palladium influence-t-elle les performances de la plaquette dans le traitement des semi-conducteurs ?

Le revêtement de palladium agit comme une barrière de diffusion pendant le traitement thermique, réduisant la migration des métaux et les risques d'oxydation. Cette interface contrôlée améliore la stabilité et la cohérence du processus dans les environnements de microfabrication.

Quelles sont les procédures de nettoyage recommandées avant d'intégrer ces plaquettes dans les processus de fabrication des semi-conducteurs ?

Les protocoles de nettoyage standard des semi-conducteurs utilisant les procédures RCA sont conseillés. Ces procédures permettent d'éliminer les contaminants organiques et inorganiques sans compromettre l'intégrité structurelle de la couche de palladium.

La plaquette peut-elle être intégrée dans les processus de fabrication de silicium existants sans modifications supplémentaires ?

Oui, la compatibilité du substrat avec les équipements de traitement standard permet de l'intégrer dans les processus de traitement du silicium existants. Des ajustements mineurs peuvent être nécessaires pour tenir compte de l'influence du revêtement métallique pendant les cycles thermiques. Pour plus de détails, contactez-nous.

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