Four à tube coulissant 1200C pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S Description
Le fourtubulaire coulissant 1200C pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S est un four coulissant polyvalent de 5 pouces équipé d'un chauffage par résistance et d'un moteur électrique coulissant pour un chauffage et un refroidissement rapides et efficaces. Il atteint des vitesses de chauffage et de refroidissement maximales de 2°C et 4°C par seconde, respectivement, et est capable de recuire des plaquettes jusqu'à 4 pouces de diamètre à des températures allant jusqu'à 1200°C. L'unité est enfermée dans un boîtier en acier à double couche avec un refroidissement à l'air pour garantir que la température de la coquille du four reste inférieure ou égale à 60°C.
Four à tube coulissant 1200C pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S Spécifications
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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air : ≤60℃
- Unité de contrôle de la température séparée pour fonctionnement à distance
- Zone de chauffage étendue
- Rails coulissants dynamiques : qui permettent au four de se déplacer horizontalement d'un côté à l'autre.
- Recuit de plaquettes jusqu'à 4" de diamètre max. avec bateau en quartz
- Tube de quartz : Tube de quartz de 5" (130 mm de diamètre extérieur x 120 mm de diamètre intérieur x 1100 mm de volume) est inclus avec des brides étanches.
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Puissance
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3KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Température : 1200℃(<30min) ; 1100℃ en continu
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
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Contrôle du glissement
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- Double rail de glissement en acier chromé.
- Longueur du rail de glissement : 1200 m
- Plage de glissement : 450mm
- En option : Le glissement automatique est entraîné par un moteur à courant continu. Il est contrôlé par le régulateur de température. Lorsque le programme de chauffage est terminé, le four glisse de droite à gauche à la vitesse programmée. Des ventilateurs souffleront les zones chauffées pour obtenir un refroidissement rapide.
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Contrôleur de température
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- Deux régulateurs automatiques PID avec 30 segments programmables pour le contrôle de la vitesse de chauffage et de refroidissement, et du temps d'arrêt.
- Protection intégrée contre la surchauffe et les ruptures de thermocouple.
- Précision de température de +/- 1℃.
- Port de communication RS485.
- Contrôle PC
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Contrôleur de vide
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Limité par une pompe à vide
- 10^-2 torr peuvent être atteints par une pompe mécanique
- 10^-5 torr peut être atteint par une pompe moléculaire
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Poids net
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110 kg
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Dimensions
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1300x 550 x 600 mm (four fermé)
1300x 750 x 850 mm (four ouvert)
350x 250 x 410 mm (boîtier de commande)
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Garantie
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- Les fours tubulaires avec des tubes en quartz sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,12 MPa.
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Les pressions sous vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Certificat de conformité
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- Certifié CE
- La certification NRTL ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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Four à tube coulissant 1200C pour le traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S Applications
- Traitement des semi-conducteurs : L'une des principales utilisations des fours RTP est l'industrie des semi-conducteurs, où ils sont utilisés pour le recuit des plaquettes de semi-conducteurs.
- Synthèse de matériaux et expérimentation : Ces fours sont idéaux pour la synthèse de nouveaux matériaux, y compris les métaux, les céramiques et les composites, en particulier lorsque le processus nécessite un contrôle précis de la température et des cycles de chauffage et de refroidissement rapides.
- Revêtements : Le RTP est utilisé pour déposer divers types de revêtements sur des substrats, notamment des couches minces et des revêtements multicouches, qui sont essentiels à la production d'appareils électroniques et optiques.
- Recherche et développement : Les fours RTP sont largement utilisés dans la recherche scientifique pour étudier les effets des hautes températures sur différents matériaux et la cinétique des transformations de phase.
Four à tubes coulissants 1200C pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S Emballage
Notre four à tube coulissant 1200C pour traitement thermique rapide OTF-1200X-RTP-5S est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
