1200C Four tubulaire 2" pour dépôt chimique en phase vapeur assisté par plasma (MPCVD) GSL-1200X-50-MWPE Description
Le four tubulaire1200C 1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2" GSL-1200X-50-MWPE est un four tubulaire de dépôt chimique en phase vapeur assisté par micro-ondes (MPCVD) qui combine un générateur de micro-ondes de 2,45 GHz avec des modules de chauffage et un tube de quartz de 2 pouces de diamètre extérieur. Cette configuration fournit un assemblage scellé sous vide et à brides qui assure une génération stable de plasma de 800°C à 1200°C sous un vide d'environ 4,5 torr. Le four est équipé d'une chambre à micro-ondes de 1400 W, 2,45 GHz.
Conçue dans un souci de sécurité, elle comprend un blindage en acier inoxydable et en aluminium pour protéger contre les radiations micro-ondes. La capacité de chauffage rapide (jusqu'à 20°C par minute) et la température de travail maximale de 1200°C dans le module de chauffage à l'intérieur de la chambre à micro-ondes garantissent un traitement efficace. Il offre également un contrôle précis de la température, avec un contrôleur programmable à 30 segments qui maintient une précision de ±1℃.
Four tubulaire 2" 1200C pour dépôt en phase vapeur assisté par plasma (MPCVD) GSL-1200X-50-MWPE Caractéristiques techniques
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Caractéristiques
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- Chambre à micro-ondes de 1400 W à 2,45 GHz
- Bouclier en acier inoxydable et en aluminium pour protéger du rayonnement des micro-ondes
- Module de chauffage à l'intérieur de la chambre à micro-ondes
- Contrôle précis de la température avec 30 segments programmables à +/- 1ºC
- Matériau d'isolation thermique coulé sous vide pour une économie d'énergie maximale.
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Micro-ondes
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- Fréquence : 2,45 GHz ±25 MHz
- Puissance de sortie : 1400W
- Fuite de micro-ondes : ≤ 3 mW/cm² à 1 mètre de distance.
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Module de chauffage et tube de traitement
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- Une pièce chauffante en fil de Ni-Cr-Al d'un diamètre intérieur de 80 mm est installée à l'intérieur du module d'alumine fibreuse.
- Le serpentin chauffant est placé à l'intérieur de la chambre à micro-ondes.
- Un tube de quartz de 2" (OD 50 x ID 44x L 600 mm) est inséré dans le module de chauffage et la chambre à micro-ondes pour produire du plasma.
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Puissance
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2000W, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Brides et vide
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- Une paire de brides à vide est incluse pour sceller le tube de quartz.
- L'orifice de vide KF25 et l'entrée et la sortie de gaz 1/4 avec vannes à pointeau sont intégrés à la bride.
- Un vacuomètre numérique est inclus pour le contrôle du vide.
- Niveau de vide max. Niveau de vide : 10-2 torr par pompe sèche et 10-5 torr par turbopompe.
- La pompe n'est pas incluse.
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Température de fonctionnement
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- Temp. max. Température : 1200℃ (<30min) ; ≤1100℃ en continu.
- Temp. min. Temp. min. : 800℃
- Vitesse de chauffage : 1 ~20°C/min
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Contrôleur de température
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- 30 segments programmables pour la vitesse de chauffage, la température et le temps de séjour, et la vitesse de refroidissement
- Régulation de la température par SCR
- Protection contre la surchauffe et la rupture du couple thermique
- Précision de contrôle +/-1.0℃
- Couple thermique de type K inséré à travers la bride
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Poids net
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30 kg
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Dimensions de l'appareil
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Micro-ondes : 560(L) x 410(L) x 340(H) mm
Profondeur totale avec le tube et la bride : 780 mm
Contrôleur : 600(L) x 520(L) x 265(H) mm
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Garantie
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- Garantie limitée d'un an avec assistance à vie.
- Les consommables, y compris les creusets, les éléments chauffants et les matériaux d'isolation thermique ne sont pas couverts par la garantie.
- ATTENTION : Les dommages causés par l'utilisation de gaz corrosifs et acides ne sont pas couverts par la garantie limitée d'un an de SAM.
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Certificat
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- Certifié CE
- La certification NRTL ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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Four tubulaire 2" 1200C pour dépôt en phase vapeur assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) GSL-1200X-50-MWPE Applications
- Synthèse et traitement des matériaux : Ces fours sont excellents pour la synthèse de matériaux complexes tels que les céramiques, les verres et les composites.
- Frittage de céramiques et de métaux : Les capacités rapides et à haute température des fours à micro-ondes les rendent idéaux pour le frittage des poudres céramiques et métalliques.
- Recherche et développement : Les fours tubulaires à micro-ondes sont largement utilisés dans les laboratoires de recherche universitaires et industriels pour le développement de nouveaux matériaux et l'étude des processus de traitement thermique dans des conditions contrôlées.
Four tubulaire 1200C CVD assisté par plasma micro-ondes (MPCVD) 2" GSL-1200X-50-MWPE Emballage
Notre four tubulaire 1200C Microwave Plasma Assisted CVD (MPCVD) 2" GSL-1200X-50-MWPE est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.
