950C CSS et four RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Description
Le four950C CSS et RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 est un four de traitement thermique rapide (RTP) à la pointe de la technologie, spécialement conçu pour le revêtement de films par sublimation rapprochée (CSS) sur des plaquettes d'un diamètre allant jusqu'à 12 pouces. Ce four peut atteindre une température de travail maximale de 950°C et comporte deux groupes de réchauffeurs halogènes (supérieur et inférieur) qui peuvent atteindre indépendamment une vitesse de chauffage rapide allant jusqu'à 20°C par seconde. Le porte-échantillon supérieur est rotatif, ce qui permet de déposer un film uniforme à des vitesses allant de 1 à 10 tours par minute.
Ce four est particulièrement efficace pour le développement de films minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, y compris des matériaux tels que le tellurure de cadmium (CdTe), le sulfure et la pérovskite. Il convient également pour le recuit de tranches de semi-conducteurs de 12 pouces.
Four 950C CSS et RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Caractéristiques techniques
Caractéristiques
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- Une chambre à vide de 20 pouces de diamètre construite en acier inoxydable, qui atteint un niveau de vide de 10^-5 torr à l'aide d'une turbopompe.
- Deux plaques chauffantes infrarouges (IR) de 12 pouces positionnées stratégiquement dans la chambre pour optimiser la distribution de la chaleur.
- Un régulateur de température de précision Eurotherm qui garantit une précision de température de ±0,1°C.
- Un ordinateur à écran tactile qui permet un contrôle complet de tous les paramètres de traitement.
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Paramètres de base
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- Temp. de chauffage max. Temp. de chauffage : 950℃
- Temp. max. Différence de température entre les deux chauffages : ≤ 300℃
- Max. Vitesse de chauffage : 8℃/s
- Vitesse de refroidissement max. Taux de refroidissement : <20℃/s
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Alimentation
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208 - 240VAC, trois phases, 50/60 Hz
60kw
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Chambre à vide
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- Dimensions de la chambre : ID 500mm x H 460mm
- Deux fenêtres en quartz de 60 mm de diamètre sont intégrées pour faciliter l'observation.
- Un déflecteur coulissant étanche à l'air est intégré pour bloquer la source d'évaporation sous vide poussé.
- Une jauge à vide numérique de précision anticorrosion est fournie en standard avec l'unité, garantissant des mesures de vide précises.
- Pompe à vide en option : 10-5 torr par turbopompe ou 10-2 torr par pompe mécanique.
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Chauffage et porte-échantillon
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- Deux radiateurs IR sont situés en haut et en bas de la chambre, avec des écarts réglables de 2 à 25 mm.
- Les éléments chauffants sont en acier inoxydable avec une enveloppe d'eau froide pour maintenir l'isolation thermique.
- Un support circulaire de 12 pouces de diamètre est intégré dans le radiateur supérieur pour maintenir le substrat.
- Les plaques de graphite sont placées sur le dessus de l'élément chauffant IR pour rendre le chauffage plus uniforme.
- Le porte-échantillon supérieur est rotatif à une vitesse réglable de 1 à 10 RPM.
- Un refroidisseur d'eau à circulation de 58L/min est inclus pour refroidir les réchauffeurs.
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Système de contrôle
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- Deux régulateurs de température numériques Eurotherm 3000 avec 24 segments programmables permettent de contrôler indépendamment les réchauffeurs supérieur et inférieur avec une précision de +/- 0,1 ºC.
- Toutes les opérations, telles que les profils de température, la pression du vide, la vitesse de rotation, la vitesse de rotation et le levage de la bride sont contrôlées par un ordinateur à écran tactile via un PLC.
- L'ordinateur peut afficher les profils de température et de vide et démarrer 10 programmes de traitement préréglés.
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Poids net
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~500 kg
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Dimensions
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L 1450 X L 1250 X H 2100 mm
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Garantie
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- Garantie limitée d'un an avec assistance à vie.
- ATTENTION : Les dommages causés par l'utilisation de gaz corrosifs et acides ne sont pas couverts par la garantie limitée d'un an de SAM.
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Certificat
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- Certifié CE
- La certification NRTL ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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950C CSS et four RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Applications
Lefour 950C CSS et RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 est particulièrement efficace pour le développement des couches minces de nouvelle génération pour les cellules solaires, y compris les matériaux tels que le tellurure de cadmium (CdTe), le sulfure et la pérovskite. Il est également adapté au recuit de tranches de semi-conducteurs de 12 pouces.
950C CSS et four RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 Emballage
Notre four 950C CSS et RTP OTF-1200X-RTP-II-CSS-300 est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.