GR5613 PECVD Graphite Boat

Description du PECVD Graphite Boat

Labarquette de graphite PECVD est l'un des supports des plaquettes de silicium normales dans la production du processus de revêtement. Il comporte de nombreuses plaquettes avec un certain intervalle dans la structure, un espace très étroit entre deux plaquettes adjacentes et des plaquettes de silicium placées de part et d'autre de la porte vide. Le graphite se caractérisant par une bonne conductivité et une bonne conductivité thermique, une tension alternative est appliquée entre deux plaquettes adjacentes pour former des électrodes positives et négatives. Lorsqu'il y a une certaine pression d'air et de gaz dans la chambre, une décharge lumineuse se produit entre les deux barques. La décharge luminescente peut décomposer les gaz SiH4 et NH3 dans l'espace, former des ions Si et N, et se combiner pour former des molécules SiNx.

Le bateau en graphite PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) est un conteneur spécialisé ou un support en graphite utilisé dans le processus PECVD pour déposer des couches minces sur divers substrats. Dans le contexte de la fabrication de semi-conducteurs et d'autres industries où le dépôt de couches minces est essentiel, ces bateaux en graphite maintiennent et transportent les substrats (comme les plaquettes de silicium) dans la chambre PECVD où se déroule le processus de dépôt.

Spécifications des bateaux en graphite PECVD

Applications du bateau en graphite PECVD

• Fabrication de semi-conducteurs : Les bateaux en graphite sont largement utilisés dans la fabrication de semi-conducteurs pour le dépôt de divers types de couches minces, y compris les diélectriques, les conducteurs et les semi-conducteurs.
• Panneaux solaires : Dans la production de cellules photovoltaïques, les barquettes de graphite PECVD sont utilisées pour déposer des revêtements antireflets et d'autres couches qui améliorent l'efficacité des cellules solaires.
• Optoélectronique : Pour les composants qui nécessitent des propriétés optiques précises, le PECVD est utilisé pour déposer des couches avec des indices de réfraction spécifiques, et les barques en graphite transportent les substrats tout au long de ce processus.

Emballage des bateaux en graphite PECVD

Nos bateaux en graphite PECVD sont manipulés avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.