OP5084 Plaque de diamant CVD

Catalogue No.	OP5084
Dimensions	1010, 1515, 20*20 (mm)
Méthode de croissance	Microwave Plasma Chemical Vapor Deposition (MPCVD)

Laplaquette de diam ant CVD est un nouveau matériau doté d'excellentes propriétés optiques et de conductivité thermique. Stanford Advanced Materials (SAM) possède une grande expérience dans la fabrication et la fourniture de plaquettes de diamant CVD de haute qualité.

Produits connexes : Plaquettes de tantalate de lithium, plaquettes de carbure de silicium, cristal de silicium infrarouge (cristal de Si), plaquette épitaxiale de saphir, plaquette EPI

ENQUÊTE

Description

Spécifications

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Qualité	Qualité optique		Qualité du dissipateur thermique
-	Polycristal	Monocristal	Polycristal	Monocristal
Méthode de croissance	MPCVD	MPCVD	MPCVD	MPCVD
Taille (mm)	Φ50~Φ150	≥8 dans la direction de la lumière	Φ50~Φ150	≥10
Luminosité (%, 1mm d'épaisseur)	>60%@λ>500nm >70%@λ>10μm	>65%@λ>500nm >71%@λ>10μm	/	/
Coefficient d'absorption (^cm-1)	<0.12@λ=1.06μm <0.07@λ=10.6μm	<0.10@λ=1.06μm <0.05@λ=10.6μm	/	/
Conductivité thermique (W/mk@300K)	>1800	>2200	>1200	>1500
Coefficient de dilatation thermique (^10-6/K@300K)	1.0	1.0	1.0	1.0
Constante diélectrique	5,5±0,2@140GHz	/	/	/
Perte diélectrique	^<6*10-5@GHz	/	/	/
Dureté Vickers (GPa)	80	70~120	80	70~120
Épaisseur (mm)	≥1	/	≥0.2	≥0.1
Tolérance d'épaisseur (mm)	±0.03	±0.03	±0.03	±0.03
Parallélisme (μm/cm)	≤5	≤4	/	/
Valeur PV de planéité (frange/cm@633nm)	≤1	≤1/3	/	/
Rugosité (nm)	≤10	≤2	≤30	≤30
Déformation (μm/cm)	≤4	/	/	/

Grade	Qualité optique		Qualité du dissipateur thermique
-	Polycristal	Monocristal	Polycristal	Monocristal
Méthode de croissance	MPCVD	MPCVD	MPCVD	MPCVD
Taille (mm)	Φ50~Φ150	≥8 dans la direction de la lumière	Φ50~Φ150	≥10
Luminosité (%, 1mm d'épaisseur)	>60%@λ>500nm >70%@λ>10μm	>65%@λ>500nm >71%@λ>10μm	/	/
Coefficient d'absorption (^cm-1)	<0.12@λ=1.06μm <0.07@λ=10.6μm	<0.10@λ=1.06μm <0.05@λ=10.6μm	/	/
Conductivité thermique (W/mk@300K)	>1800	>2200	>1200	>1500
Coefficient de dilatation thermique (^10-6/K@300K)	1.0	1.0	1.0	1.0
Constante diélectrique	5,5±0,2@140GHz	/	/	/
Perte diélectrique	^<6*10-5@GHz	/	/	/
Dureté Vickers (GPa)	80	70~120	80	70~120
Épaisseur (mm)	≥1	/	≥0.2	≥0.1
Tolérance d'épaisseur (mm)	±0.03	±0.03	±0.03	±0.03
Parallélisme (μm/cm)	≤5	≤4	/	/
Valeur PV de planéité (frange/cm@633nm)	≤1	≤1/3	/	/
Rugosité (nm)	≤10	≤2	≤30	≤30
Déformation (μm/cm)	≤4	/	/	/

OP5084 Plaque de diamant CVD

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