1700C Four tubulaire à alumine à trois zones GSL-1700X-III-F3LV Description
Le four tubulaire àalumine à trois zones 1700C GSL-1700X-III-F3LV est un four tubulaire à trois zones doté d'un tube d'alumine de 60 mm de diamètre, d'une pompe à vide mécanique et d'un système de flux de gaz à trois canaux. Il peut chauffer des échantillons à des températures allant jusqu'à 1700°C et atteindre un niveau de vide allant jusqu'à 5x10^-2 torr. Le système du four permet un mélange précis de 1 à 3 types de gaz, ce qui est essentiel pour le dépôt chimique en phase vapeur (CVD) ou les processus de diffusion. En outre, le système est équipé d'une jauge à membrane de capacité Pirani anticorrosion pour des mesures de vide précises, même avec des gaz agressifs.
1700C Four tubulaire en alumine à trois zones GSL-1700X-III-F3LV Caractéristiques techniques
Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air : Deux ventilateurs de refroidissement internes maintiennent la température du boîtier externe en dessous de 55°C, ce qui améliore la fiabilité.
- Isolation en alumine fibreuse de haute pureté : Maximise l'efficacité énergétique en minimisant les pertes de chaleur pendant le fonctionnement.
- Trois zones de chauffage indépendantes : Contrôlées par trois régulateurs de température de précision, elles permettent un chauffage précis et uniforme dans les différentes zones.
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Puissance
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10 KW, AC 208-240V monophasé, 50/60 Hz
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Zone de chauffage
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Trois zones : zone de chauffage totale de 25" (630 mm) (y compris deux séparateurs réfractaires)
- Zone 1 : 7.5" (190 mm) chauffée par 4 pcs U type SiC
Température de travail : 800 - 1400°C
Vitesse de chauffage : 10°C/min
- Zone 2 : 10" (250 mm) chauffée par 6 pièces U type MoSi2
Température de travail 800 - 1700°C
Vitesse de chauffage max. Vitesse de chauffage : 5°C/min
- Zone 3 : 7.5" (190 mm) chauffé par 4 pcs U type SiC
Température de travail 800 - 1400°C
Vitesse de chauffage max. Vitesse de chauffage : 10°C/min
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Taille du tube et de la bride
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- Tube en alumine d'une pureté de 99,8 %.
- 60 mm de diamètre extérieur x 54 mm de diamètre intérieur x 1200 mm de longueur
- Une bride d'étanchéité sous vide en acier inoxydable de 60 mm avec valve et compteur est incluse.
- Deux blocs de céramique poreuse sont inclus pour protéger la bride des radiations de chauffage.
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Contrôle de la temp. Contrôle de la température
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- Trois régulateurs de température de précision pour contrôler trois zones séparément.
- Contrôle automatique PID via le contrôle de puissance SCR (Silicon Controlled Rectifier) avec angle de phase tiré, résistance de limitation de courant.
- 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de séjour.
- Protection intégrée contre la surchauffe et les ruptures de thermocouple.
- La protection contre la surchauffe et l'alarme permettent un fonctionnement sans accompagnateur.
- Précision de température de +/- 1 ºC.
- Port de communication RS485.
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Jauge à vide
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- Jauge à membrane capacitive résistante à la corrosion avec tête de capteur à revêtement céramique spécialement conçue pour les mesures de vide en présence de gaz corrosifs.
- La jauge est installée sur la bride de vide (côté droit) du four tubulaire et offre une large plage de mesure (10^-5 ~ 1000 torr).
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Dimensions
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550 x 380 x 520 mm
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Pompe à vide
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Pompe à vide à palettes robuste (7,8 CFM -240 L/m) avec système d'échappement à deux étages installé à l'intérieur de la station de vide. Le système de vide peut atteindre 5x10-2 torr dans les 30 minutes de pompage.
Un adaptateur KFD25 est installé sur la bride pour la connexion à la pompe à vide.
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Système de mélange et de distribution de gaz à trois canaux
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- Trois débitmètres de gaz (précision de 4 %) sont installés à l'intérieur de la caisse mobile pour contrôler le débit des gaz (trois types de gaz différents au total).
1) Débitmètre compact à lecture directe, 10-100 cc/min.
2) Débitmètre compact à lecture directe, 16-160 cc/min.
3) Débitmètre compact à lecture directe, 25-250 cc/min.
- Un compteur de pression est installé à l'intérieur d'un chariot mobile capable de surveiller la pression du réservoir de mélange.
- 4 vannes à pointeau en acier inoxydable sont installées sur le chariot mobile.
- Deux tuyaux d'écoulement de gaz sont fournis pour une utilisation immédiate (un tuyau pour deux gaz mélangés et un autre pour un gaz indépendant).
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Câble d'alimentation et prise
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- Un câble d'alimentation de 10 pieds de long, de calibre 8-3 AWG, approuvé par l'UL, est inclus.
- La prise n'est pas incluse, vous pouvez la commander auprès de votre quincaillerie locale en fonction de la prise femelle de votre laboratoire.
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Dimensions de l'appareil
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Four : 863 L x 457 L x 711 H mm (34 L x 18 L x 28 H pouces)
Chariot à gaz : 850 mm (L) x 600 mm (L) x 700 mm (H)
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Poids net
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150Kg (four) + 100Kg (total 550lb)
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Poids à l'expédition
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800 kg
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Dimensions d'expédition
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Deux caisses sur une palette : 45x45x35/caisse
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant (les pièces consommables telles que les tubes de traitement, les joints toriques et les éléments chauffants ne sont pas couvertes par la garantie, veuillez commander des pièces de rechange dans les produits connexes ci-dessous).
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Conformité
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Certifié CE
La certification UL / MET / CSA est disponible sur demande, moyennant des frais supplémentaires.
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Avertissements
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- Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < / 0,2 Bar/ 3 PSI
- Ne jamais utiliser un creuset en graphite dans un tube en alumine.
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min).
- Définition de la limite de vide pour tous les fours tubulaires d'alumine : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1500°C.
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Four tubulaire en alumine 1700C à trois zones GSL-1700X-III-F3LV Applications
- Dépôt chimique en phase vapeur (CVD) :
Permet le dépôt de couches minces et de revêtements sur des substrats avec des atmosphères gazeuses contrôlées.
Utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs, le revêtement de surface et la synthèse de nanomatériaux.
Facilite le mouvement contrôlé des atomes ou des molécules dans les matériaux solides.
Essentiel pour le dopage des matériaux semi-conducteurs et l'amélioration des propriétés des matériaux.
- Recuit et frittage à haute température :
Idéal pour les processus de recuit visant à améliorer la cristallinité des matériaux et à éliminer les défauts.
Permet le frittage des céramiques et des métaux pour la densification et l'amélioration des propriétés mécaniques.
- Recherche et développement :
Fournit un environnement contrôlé pour l'étude du comportement et des propriétés des matériaux à haute température.
Essentiel pour explorer de nouveaux matériaux et procédés dans les laboratoires de recherche.
1700C Four tubulaire en alumine à trois zones GSL-1700X-III-F3LV Emballage
Notre four tubulaire à alumine 1700C à trois zones GSL-1700X-III-F3LV est manipulé avec soin pendant le stockage et le transport afin de préserver la qualité de notre produit dans son état d'origine.