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Structure du four
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- Enveloppe en acier à double couche avec refroidissement par air
- Isolation en fibre d'alumine de haute pureté
- Couvercle divisible
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Puissance
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5KW, 208-240VAC, monophasé, 50/60Hz
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Temp. de travail
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- Temp. max. Température : 1200℃ (1 heure) ; 1100℃ (en continu)
- Vitesse de chauffage : ≤20℃/min
- Précision de la température : ±1.0℃
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Longueur de la zone de chauffage
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- Trois zones : (880mm, 35" au total)
Zone 1 : 220mm (8.6")
Zone 2 : 440mm (17.3")
Zone 3 : 220 mm (8.6")
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Zone à température constante
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- Si trois zones sont réglées à la même température, la zone à température constante a une longueur de 25" (625 mm) avec un écart de température de ± 1°C.
- Si une seule zone est utilisée (zone centrale), la zone à température constante mesure 110 mm de long avec un écart de température de ± 1°C.
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Éléments chauffants
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Alliage Fe-Cr-Al dopé au Mo
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Contrôleur de temp. Contrôleur de température
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- Trois régulateurs de température de précision pour contrôler les trois zones séparément
- Contrôle automatique PID avec 30 segments programmables pour un contrôle précis de la vitesse de chauffage, de la vitesse de refroidissement et du temps de maintien.
- Protection intégrée contre la surchauffe et les ruptures de thermocouple
- La protection contre la surchauffe et l'alarme permettent un fonctionnement sans accompagnateur(s)
- Précision de température de ± 1℃
- Port de communication RS485
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Capteur de vide et affichage
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- Jauge à membrane capacitive anticorrosion avec tête de capteur à revêtement céramique spécialement conçue pour les mesures de vide en présence de gaz corrosifs.
- La jauge est installée sur la bride de vide du four tubulaire et offre une large plage de mesure (10^-5 ~ 1000 torr).
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Tube en quartz et brides d'étanchéité
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- Tube en quartz fondu de 80 mm de diamètre extérieur x 72 mm de diamètre intérieur x 1400 mm inclus.
- Les brides de vide avec vannes et manomètres sont incluses.
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Bride coulissante avec porte-échantillon
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Une glissière pour le transfert de l'échantillon (actionnée manuellement) est disponible en option pour un coût supplémentaire de 1900 $.
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Brides d'étanchéité au vide
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- Deux brides en acier inoxydable avec jauge à vide et valves incluses.
- La pression de vide minimale atteinte par la pompe mécanique est de 5,5 m-torr. (5.5x10^-3 torr). La pression peut atteindre 10^-5 torr en utilisant une pompe mécanique + moléculaire.
- Le taux de fuite est < 5 m-torr / min. et la pression de vide stable après 24 heures est < 2 torr.
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Surveillance de l'oxygène
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Un capteur d'oxygène peut être utilisé pour contrôler le niveau d'oxygène des gaz utilisés dans les systèmes CVD afin de prévenir ou de réduire l'oxydation.
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Pompe à vide
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Une pompe à vide à palettes de 120 L/m est incluse avec une pression de vide maximale de 10^-2 torr. Un tuyau en acier inoxydable est inclus pour la connexion au four tubulaire.
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Débitmètre de gaz et manomètre
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- Trois débitmètres de gaz (précision de 4 %) sont installés à l'intérieur de la caisse mobile pour permettre la surveillance des débits de gaz (trois types de gaz différents au total).
Débitmètre compact à lecture directe, 10-100 cc/min.
Débitmètre compact à lecture directe, 16-160 cc/min.
Débitmètre compact à lecture directe, 25-250 cc/min.
- Quatre compteurs de pression sont installés à l'intérieur du chariot mobile qui peut surveiller trois types de pression de gaz en circulation ainsi que la pression du réservoir de mélange.
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Poids à l'expédition
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850 Lbs
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Vannes
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Quatre vannes en acier inoxydable sont installées sur le panneau latéral du chariot mobile pour contrôler le mélange des trois gaz d'entrée séparément.
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Dimensions du four
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- Four : 1100 X 450 x 670 mm
- Coffre mobile inférieur : 600 x 600 x 597 mm
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Garantie
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Garantie limitée d'un an du fabricant.
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Avertissement et remarques
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- Pour obtenir une température précise à l'intérieur du four tubulaire, vous devez calibrer la température vous-même.
- Les fours tubulaires avec des tubes en alumine sont conçus pour être utilisés sous vide et à basse pression < 0,2 bar / 3 psi / 0,02 MPa
- Le débit des gaz doit être limité à < 200 SCCM (ou 200 ml/min) pour réduire les chocs thermiques sur le tube.
- Attention : Un régulateur de pression à deux étages doit être installé sur la bouteille de gaz afin de limiter la pression à moins de 3 PSI pour un fonctionnement sûr.
- Définition de la limite de vide pour tous les fours à tubes de quartz : * Les pressions de vide ne peuvent être utilisées en toute sécurité que jusqu'à 1000°C.
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Certificat de conformité
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- Certifié CE
- La certification NRTL ou CSA est disponible moyennant un supplément de prix.
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